白光干涉儀又叫做非接觸式光學(xué)3D表面輪廓儀，是以白光干涉掃描技術(shù)為基礎(chǔ)研制而成用于樣品表面微觀形貌檢測的精密儀器,。它以白光干涉技術(shù)為原理，光源發(fā)出的光經(jīng)過擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束,，一束經(jīng)被測表面反射回來,，另外一束光經(jīng)參考鏡反射,，兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號,，通過測量干涉條紋的變化,，能實(shí)現(xiàn)表面輪廓的三維重建并可進(jìn)行輪廓尺寸分析。

白光干涉儀的形貌測量,，以表面形貌為主,，即工件某一個表面上的微觀形貌：

1、微觀輪廓尺寸測量：主要是臺階高,、槽深之類,，涉及到最小縱向10nm量級，在驗(yàn)證上可以與原子力顯微鏡,、臺階儀交叉驗(yàn)證,。

2、粗糙度測量：白光測量的粗糙度范圍從0.1nm到10μm級別,。面和線粗糙度測量,，最高可確保0.1nm的測量可靠性，不限制材質(zhì)和形狀,。

SuperViewW1白光干涉儀粗糙度RMS重復(fù)性0.005nm,，利用光波干涉原理 將被測表面的形狀誤差以干涉條紋圖形顯示出來，并利用放大倍數(shù)高的顯微鏡將這些干涉條紋的微觀部分放大后進(jìn)行測量,，以得出被測表面粗糙度,，可以輕松測量曲面粗糙度,。

球面鏡曲率半徑,、粗糙度測量

針對葉片類曲面零部件，型號為W3的白光干涉儀能夠在空間范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)曲面全自動測量功能,，解決其形狀不規(guī)則裝夾不便,、測量點(diǎn)分布不在同一個面、單次測量效率低的問題,。

測量發(fā)動機(jī)葉片大空間自由曲面