目前隨著科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步,，形貌儀得到了改進(jìn)和升級，能夠?qū)Σ煌臏y試樣品材料,，進(jìn)行精準(zhǔn)測量,，局限性和受限制范圍越來越小，而且測量的準(zhǔn)確度也越來越高,。

形貌儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器,。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D,、3D參數(shù),，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。

形貌儀的性能特點(diǎn)：

2）*的隔振系統(tǒng),，能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動，消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲,，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中也能穩(wěn)定使用,，獲得高測量重復(fù)性；

6）可測依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達(dá)300余種2D、3D參數(shù),。

除初級的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外，另在Z軸上設(shè)計有機(jī)械電子傳感器,，當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時,，儀器自動進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài)，保護(hù)儀器,，降低人為操作風(fēng)險,。

集成X,、Y,、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移,、Z向聚焦,、找條紋等測量前工作,。