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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>常用儀表>光學儀表>干涉儀>SuperViewW1 精密納米級白光干涉儀

SuperViewW1 精密納米級白光干涉儀

參考價 960000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 深圳市中圖儀器股份有限公司
  • 品牌 CHOTEST/中圖儀器
  • 型號 SuperViewW1
  • 產(chǎn)地 學苑大道1001號南山智園B1棟2樓,、5樓
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2025/1/14 14:18:43
  • 訪問次數(shù) 333

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深圳市中圖儀器股份有限公司成立于2005年,致力于全尺寸鏈精密測量儀器及設(shè)備的研發(fā),、生產(chǎn)和銷售,。


中圖儀器堅持以技術(shù)創(chuàng)新為發(fā)展基礎(chǔ),擁有一支集光,、機,、電、信息技術(shù)于一體的技術(shù)團隊,,歷經(jīng)20年的技術(shù)積累和發(fā)展實踐,,研發(fā)出了基礎(chǔ)計量儀器、常規(guī)尺寸光學測量儀器,、微觀尺寸光學測量儀器,、大尺寸光學測量儀器、常規(guī)尺寸接觸式測量儀器,、微觀尺寸接觸式測量儀器,、行業(yè)應(yīng)用檢測設(shè)備等全尺寸鏈精密儀器及設(shè)備,能為客戶提供從納米到百米的精密測量解決方案,。





三坐標測量機,,影像儀,閃測儀,,一鍵式測量儀,,激光干涉儀,白光干涉儀,,光學輪廓儀,,激光跟蹤儀

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,能源,電子,汽車,綜合

SuperViewW精密納米級白光干涉儀以白光干涉技術(shù)為原理,對各種精密器件表面進行納米級測量的儀器,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,,專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度,、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。

精密納米級白光干涉儀

典型結(jié)果

表面形貌(粗糙度,,平面度,,平行度,臺階高度,,錐角等等)

幾何特征(關(guān)鍵孔徑尺寸,,曲率半徑,特征區(qū)域的面積和體積,,特征圖形的位置和數(shù)量等等)

精密納米級白光干涉儀

SuperViewW精密納米級白光干涉儀可廣泛應(yīng)用于半導體制造及封裝工藝檢測,、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工,、微納材料及制造,、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領(lǐng)域中,。可測各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度,、微觀幾何輪廓,、曲率等。


產(chǎn)品特點

1,、干涉物鏡

不通倍率的鏡頭,,適應(yīng)于從超光滑到粗糙度各種表面類型的樣品。

2,、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

外接氣源和加壓裝置直接充氣的雙通道氣浮隔振系統(tǒng),,可有效隔離地面?zhèn)鲗У恼駝釉肼暋?/p>

3、聲波隔振防護

儀器外殼與內(nèi)部運動機構(gòu)采用了分離式設(shè)計,,有效隔離了聲波振動的傳導,。

4、水平調(diào)整裝置

傾斜調(diào)整旋鈕,,調(diào)整條紋寬度,,提高3D圖像的重建精度。

5,、便攜式操縱桿

采用人體工程學設(shè)計,,集成了XYZ三軸位移和速度,、光源亮度的自動控制,并配有緊急停止按鈕,。

6,、真空吸附臺

專為半導體晶圓片定制的真空吸附臺,確保樣品在測量過程中不受空氣中微弱氣流擾動的影像,。

7,、3D重建算法

自動濾除樣品表面噪點,,在硬件系統(tǒng)的配合下,,測量精度可達亞納米級別。


產(chǎn)品功能

1)樣件測量能力:單一掃描模式即可滿足從超光滑到粗糙,、鏡面到全透明或黑色材質(zhì)等所有類型樣件表面的測量,;

2)單區(qū)域自動測量:單片平面樣品或批量樣品切換測量點位時,可一鍵實現(xiàn)自動條紋搜索,、掃描等功能,;

3)多區(qū)域自動測量:可設(shè)置方形或圓形的陣列形式的多區(qū)域測量點位,一鍵實現(xiàn)自動條紋搜索,、掃描等功能,;

4)自動拼接測量;支持方形,、圓形,、環(huán)形和螺旋形式的自動拼接測量功能,配合影像導航功能,,可自定義測量區(qū)域,,支持數(shù)千張圖像的無縫拼接測量;

5)編程測量功能:支持測量和分析同界面操作的軟件模塊,,可預先配置數(shù)據(jù)處理和分析步驟,,結(jié)合自動單測量功能,實現(xiàn)一鍵測量,;

6)數(shù)據(jù)處理功能:提供位置調(diào)整,、去噪、濾波,、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,;

7)數(shù)據(jù)分析功能:提供粗糙度分析、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析、功能分析等五大分析功能,。

8)批量分析功能:可根據(jù)需求參數(shù)定制數(shù)據(jù)處理和分析模板,,針對同類型參數(shù)實現(xiàn)一鍵批量分析,;

9)數(shù)據(jù)報表導出:支持word、excel,、pdf格式的數(shù)據(jù)報表導出功能,,支持圖像、數(shù)值結(jié)果的導出,;

10)故障排查功能:配置診斷模塊,,可保存掃描過程中的干涉條紋圖像;

11)便捷操作功能:設(shè)備配備操縱桿,,支持操縱桿進行所有位置軸的操作及速度調(diào)節(jié),、光源亮度調(diào)節(jié)、急停等,;

12)環(huán)境噪聲評價:具備0.1nm分辨率的環(huán)境噪聲評價功能,,定量檢測出儀器受到外界環(huán)境干擾的噪聲振幅和頻率,為設(shè)備調(diào)試和故障排查提供定量依據(jù),;

13)氣浮隔振功能:采用氣浮式隔振底座,,可有效隔離地面?zhèn)鲗У恼駝釉肼暎_保測量數(shù)據(jù)的高精度,;

14)光源安全功能:光源設(shè)置無人值守下的自動熄燈功能,,當檢測到鼠標軌跡長時間未變動后會自主降低熄滅光源,防止光源高亮過熱損壞,,并有效延長光源使用壽命,;

15)鏡頭安全功能:雙重防撞保護,軟件ZSTOP防撞保護,,設(shè)置后即以當前位置為位移下限位,,不再下移且伴有報警聲;設(shè)備配備壓力傳感器,,并在鏡頭處進行了彈簧結(jié)構(gòu)設(shè)計,,確保當鏡頭碰撞后彈性回縮,進入急停狀態(tài),,大幅減小碰撞沖擊力,,有效保護鏡頭和掃描軸,消除人為操作的安全風險,。


自研3D顯微測量軟件平臺Xtremevision Pro

精密納米級白光干涉儀

Xtremevision Pro

全自主開發(fā)的第二代顯微3D測量軟件平臺,,集成了圖像掃描、3D分析,、影像測量,、自動化測量等四個大的功能模塊,能夠適配中圖W系列,、VT系列,、WT系列所有3D儀器機型,,可自主識別機型種類,二合一機型可在白光干涉和共聚焦顯微鏡中做到自動切換掃描模式,。

Xtremevision Pro 移植了中圖在影像閃測領(lǐng)域的成功經(jīng)驗,,重構(gòu)了顯微影像測量功能,可針對微觀平面輪廓尺寸的點,、線間的距離,、角度、半徑等參數(shù)進行直接測量和自動匹配測量,。

精密納米級白光干涉儀

自動化mark點識別坐標定位自動化功能

Mark點影像識別自動坐標位置校正,,多區(qū)域坐標點自動定位測量與分析,可組合式完成粗糙度,、輪廓尺寸的批量自動化測量,。

精密納米級白光干涉儀

自動拼接功能

支持方形,、圓形,、環(huán)形和螺旋形式的自動拼接測量功能,配合影像導航功能,,可自定義測量區(qū)域,,支持數(shù)千張圖像的無縫拼接測量。


部分技術(shù)指標

型號W1
光源
白光LED
影像系統(tǒng)1024×1024
干涉物鏡

標配:10×

選配:2.5×;5×;20×;50×;100×

光學ZOOM

標配:0.5×

選配:0.375×;0.75×;1×

物鏡塔臺

標配:3孔手動

選配:5孔電動


XY位移平臺

尺寸320×200㎜
移動范圍140×100㎜
負載10kg
控制方式電動
Z軸聚焦行程100㎜
控制方式電動
Z向掃描范圍10 ㎜
主機尺寸(長×寬×高)700×606×920㎜

懇請注意:因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改,,恕不另行通知,不便之處敬請諒解,。

如有疑問或需要更多詳細信息,,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。



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