SuperViewW精密納米級白光干涉儀以白光干涉技術(shù)為原理，對各種精密器件表面進行納米級測量的儀器，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,，專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度,、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。

典型結(jié)果

表面形貌（粗糙度,，平面度,，平行度，臺階高度,，錐角等等）

幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸,，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和體積,，特征圖形的位置和數(shù)量等等）

SuperViewW精密納米級白光干涉儀可廣泛應(yīng)用于半導體制造及封裝工藝檢測,、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工,、微納材料及制造,、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領(lǐng)域中,。可測各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度,、微觀幾何輪廓,、曲率等。

產(chǎn)品特點

1,、干涉物鏡

不通倍率的鏡頭,，適應(yīng)于從超光滑到粗糙度各種表面類型的樣品。

2,、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

外接氣源和加壓裝置直接充氣的雙通道氣浮隔振系統(tǒng),，可有效隔離地面?zhèn)鲗У恼駝釉肼暋?/p>

3、聲波隔振防護

儀器外殼與內(nèi)部運動機構(gòu)采用了分離式設(shè)計,，有效隔離了聲波振動的傳導,。

4、水平調(diào)整裝置

傾斜調(diào)整旋鈕,，調(diào)整條紋寬度,，提高3D圖像的重建精度。

5,、便攜式操縱桿

采用人體工程學設(shè)計,，集成了XYZ三軸位移和速度,、光源亮度的自動控制，并配有緊急停止按鈕,。

6,、真空吸附臺

專為半導體晶圓片定制的真空吸附臺，確保樣品在測量過程中不受空氣中微弱氣流擾動的影像,。

7,、3D重建算法

自動濾除樣品表面噪點,，在硬件系統(tǒng)的配合下,，測量精度可達亞納米級別。

產(chǎn)品功能

1)樣件測量能力：單一掃描模式即可滿足從超光滑到粗糙,、鏡面到全透明或黑色材質(zhì)等所有類型樣件表面的測量,；

2)單區(qū)域自動測量：單片平面樣品或批量樣品切換測量點位時，可一鍵實現(xiàn)自動條紋搜索,、掃描等功能,；

3)多區(qū)域自動測量：可設(shè)置方形或圓形的陣列形式的多區(qū)域測量點位，一鍵實現(xiàn)自動條紋搜索,、掃描等功能,；

4)自動拼接測量；支持方形,、圓形,、環(huán)形和螺旋形式的自動拼接測量功能，配合影像導航功能,，可自定義測量區(qū)域,，支持數(shù)千張圖像的無縫拼接測量；

5)編程測量功能：支持測量和分析同界面操作的軟件模塊,，可預先配置數(shù)據(jù)處理和分析步驟,，結(jié)合自動單測量功能，實現(xiàn)一鍵測量,；

6)數(shù)據(jù)處理功能：提供位置調(diào)整,、去噪、濾波,、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

7)數(shù)據(jù)分析功能：提供粗糙度分析、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析、功能分析等五大分析功能,。

8)批量分析功能：可根據(jù)需求參數(shù)定制數(shù)據(jù)處理和分析模板,，針對同類型參數(shù)實現(xiàn)一鍵批量分析,；

9)數(shù)據(jù)報表導出：支持word、excel,、pdf格式的數(shù)據(jù)報表導出功能,，支持圖像、數(shù)值結(jié)果的導出,；

10)故障排查功能：配置診斷模塊,，可保存掃描過程中的干涉條紋圖像；

11)便捷操作功能：設(shè)備配備操縱桿,，支持操縱桿進行所有位置軸的操作及速度調(diào)節(jié),、光源亮度調(diào)節(jié)、急停等,；

12)環(huán)境噪聲評價：具備0.1nm分辨率的環(huán)境噪聲評價功能,，定量檢測出儀器受到外界環(huán)境干擾的噪聲振幅和頻率，為設(shè)備調(diào)試和故障排查提供定量依據(jù),；

13)氣浮隔振功能：采用氣浮式隔振底座,，可有效隔離地面?zhèn)鲗У恼駝釉肼暎_保測量數(shù)據(jù)的高精度,；

14)光源安全功能：光源設(shè)置無人值守下的自動熄燈功能,，當檢測到鼠標軌跡長時間未變動后會自主降低熄滅光源，防止光源高亮過熱損壞,，并有效延長光源使用壽命,；

15)鏡頭安全功能：雙重防撞保護，軟件ZSTOP防撞保護,，設(shè)置后即以當前位置為位移下限位,，不再下移且伴有報警聲；設(shè)備配備壓力傳感器,，并在鏡頭處進行了彈簧結(jié)構(gòu)設(shè)計,，確保當鏡頭碰撞后彈性回縮，進入急停狀態(tài),，大幅減小碰撞沖擊力,，有效保護鏡頭和掃描軸，消除人為操作的安全風險,。

自研3D顯微測量軟件平臺Xtremevision Pro

Xtremevision Pro

全自主開發(fā)的第二代顯微3D測量軟件平臺,，集成了圖像掃描、3D分析,、影像測量,、自動化測量等四個大的功能模塊，能夠適配中圖W系列,、VT系列,、WT系列所有3D儀器機型,，可自主識別機型種類，二合一機型可在白光干涉和共聚焦顯微鏡中做到自動切換掃描模式,。

Xtremevision Pro 移植了中圖在影像閃測領(lǐng)域的成功經(jīng)驗,，重構(gòu)了顯微影像測量功能，可針對微觀平面輪廓尺寸的點,、線間的距離,、角度、半徑等參數(shù)進行直接測量和自動匹配測量,。

自動化mark點識別坐標定位自動化功能

Mark點影像識別自動坐標位置校正,，多區(qū)域坐標點自動定位測量與分析，可組合式完成粗糙度,、輪廓尺寸的批量自動化測量,。

自動拼接功能

支持方形,、圓形,、環(huán)形和螺旋形式的自動拼接測量功能，配合影像導航功能,，可自定義測量區(qū)域,，支持數(shù)千張圖像的無縫拼接測量。

部分技術(shù)指標

懇請注意：因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改,，恕不另行通知，不便之處敬請諒解,。

如有疑問或需要更多詳細信息,，請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。