白光干涉儀的基本原理是通過不同的光學(xué)元件形成參考光路和探測光路，是利用干涉原理測量光程差,，從而確定相關(guān)物理量的光學(xué)儀器,。結(jié)合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等,，可以對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,，然后通過一體化操作的測量分析軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析,，從而獲得反映器件表面質(zhì)量的2D,、3D參數(shù),，實現(xiàn)器件表面形貌3D測量,。

測量分析軟件

1）測量與分析同界面操作，無須切換,，測量數(shù)據(jù)自動統(tǒng)計,，實現(xiàn)了快速批量測量的功能；

2）可視化窗口,，便于用戶實時觀察掃描過程,；

3）結(jié)合自定義分析模板的自動化測量功能，可自動完成多區(qū)域的測量與分析過程,；

4）幾何分析,、粗糙度分析、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析,、功能分析五大功能模塊齊全；

5）一鍵分析,、多文件分析,，自由組合分析項保存為分析模板，批量樣品一鍵分析,，并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計圖表功能,；

6）可測依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達300余種2D、3D參數(shù),。

其中白光干涉儀的拼接功能,，能夠針對樣品的同一區(qū)域進行不同模式的檢測。SuperViewW1白光干涉儀拼接功能3軸光柵閉環(huán)反饋,，在樣品表面抽取多個區(qū)域測量,，可以快速實現(xiàn)大區(qū)域、高精度的測量,，從而對樣品進行評估分析。不僅有利于數(shù)據(jù)的綜合分析,，也可以減少維護成本,，從而提高效率。

SuperViewW1白光干涉儀

SuperViewW1白光干涉儀XY載物臺標(biāo)準(zhǔn)行程為140*110mm,，可以測到12mm,，也可以測到更小的尺寸，局部位移精度可達亞微米級別,，可以測量非常微小尺寸的器件,；也可以使用自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能將測量的每一個小區(qū)域整合拼接成完整的圖像,，從而獲得物體整個區(qū)域的表面情況,。

大尺寸樣品拼接測量

自動拼接功能

操作步驟

1.點擊XY復(fù)位,，使得鏡頭復(fù)位到載物臺中心

2.將被測物放置在載物臺夾具上，被測物中心大致和載物臺中心重合,；

3.確認電機連接狀態(tài)和環(huán)境噪聲狀態(tài)滿足測量條件,；

4.使用操縱桿搖桿旋鈕調(diào)節(jié)鏡頭高度，找到干涉條紋,；

5.設(shè)置好掃描方式和掃描范圍,；

6.點擊選項圖標(biāo)，確認自動找條紋上下限無誤,；

7.點擊多區(qū)域測量圖標(biāo),，可選擇方形和（橢）圓形兩種測量區(qū)域形狀；

8.根據(jù)被測物形狀和尺寸,，"形狀”欄選擇“橢圓平面”,，X和Y方向按需設(shè)置；

9.點擊彈出框右下角的“開始”圖標(biāo),，儀器即自動完成多個區(qū)域的對焦,、找條紋、掃面等操作,。