納米尺度3D光學(xué)干涉測量系統(tǒng)VS1800
- 公司名稱 上海百疊科技有限公司
- 品牌 Hitachi/日立
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/3/22 11:08:44
- 訪問次數(shù) 55
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光伏新能源檢測儀器 光伏膠膜用 硫化儀,、門尼粘度計、拉力機,、紅外,、紫外分光光度計、粘度計,、DSC,、TGA等,,傳動軸平衡機,橡塑和輪胎檢測儀器,,動態(tài)疲勞試驗機,,測量儀器等
產(chǎn)地類別 | 進口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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納米尺度3D光學(xué)干涉測量系統(tǒng)VS1800應(yīng)用光干涉現(xiàn)象,對微細的表面形貌進行測量,,可實現(xiàn)高性能薄膜、半導(dǎo)體,、汽車零配件,、顯示器等行業(yè)所要求的高精度測量。而且還能以無損傷方式進行多層膜的層結(jié)構(gòu)以及層內(nèi)部的異物測量,。
納米尺度3D光學(xué)干涉測量系統(tǒng)VS1800:測量表面形貌的新標準
隨著材料不斷趨向平坦化,、薄膜化及結(jié)構(gòu)的微細化,人們開始要求比傳統(tǒng)的普通SPM(掃描探針顯微鏡),、觸針式粗糙度測量儀及激光顯微鏡等產(chǎn)品更高的測量精度,。相比較利用光干涉原理的白光干涉掃描顯微鏡,納米尺度3D光學(xué)干涉測量系統(tǒng)VS1800,,使用更方便,,測量精度跟高,測量范圍更大,。此外,,傳統(tǒng)的采用線粗的測量方式仍存在“測量位置導(dǎo)致的結(jié)果偏差”和“掃描方向?qū)е碌慕Y(jié)果偏差”等重大課題。VS1800的解決對策是通過參照國際標準ISO25178規(guī)定的表面形貌評估方法來計算參數(shù),,建立測量表面形貌的新標準,,從而受到了各界的關(guān)注。
原子力顯微鏡的納米尺度3D探針測量系統(tǒng)AFM5500M同樣可實現(xiàn)高度的分辨率為0.1nm以下,,與此相比,,納米尺度3D光學(xué)干涉測量系統(tǒng)VS1800的一大特點在于面內(nèi)方向的測量范圍更大。發(fā)揮兩種測量系統(tǒng)各自的優(yōu)點,,根據(jù)需求選擇合適的測量系統(tǒng)有利于生產(chǎn)率的提高,。