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白光干涉儀(光學(xué)3D表面輪廓儀)只能測同質(zhì)材料嗎?

來源:深圳市中圖儀器股份有限公司   2023年08月03日 08:48  

白光干涉儀以白光干涉為原理,,廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)等領(lǐng)域,,對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度,、粗糙度,、波紋度、面形輪廓,、表面缺陷,、孔隙間隙、臺階高度,、彎曲變形情況,、磨損情況、腐蝕情況,、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析,,是一種常見的光學(xué)輪廓測量儀器。但是許多人對白光干涉儀的使用范圍和限制性存在疑問,,本文將圍繞“白光干涉儀是否智能測量同質(zhì)材料,?”進行深入探討。

 

白光干涉儀由光源,、分光器,、干涉儀和探測器等部分組成。儀器基于干涉現(xiàn)象原理工作:當(dāng)兩束或多束光線相互疊加時,,會發(fā)生干涉現(xiàn)象,。白光干涉儀利用這種干涉現(xiàn)象來測量光的相位差,從而獲得材料的相關(guān)參數(shù),。

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光源發(fā)出的白光通過分光器被分成兩束光線,,分別經(jīng)過不同的光路。然后,,這兩束光線再次相遇并疊加在一起,,形成干涉圖樣。通過干涉圖樣的變化,,我們可以得到材料的相關(guān)信息,。

 

白光干涉儀只能測同質(zhì)材料嗎?答案是否定的,。在實際應(yīng)用中,,白光干涉儀的測量對象可以是各種類型的材料,,例如金屬、陶瓷,、塑料等,。無論是同質(zhì)材料還是非同質(zhì)材料的測量,白光干涉儀的干涉圖樣分析和計算方法都可以提供準(zhǔn)確而詳細(xì)的測量結(jié)果

1,、同質(zhì)材料具有相似的光學(xué)特性,因此可以采用簡化的分析方法,。利用干涉儀圖樣的分析,,可以直接獲得相關(guān)參數(shù)(如膜層厚度、表面粗糙度,、膜層折射率等),,從而得到準(zhǔn)確的測量結(jié)果。

2,、對于非同質(zhì)材料,,由于其光學(xué)特性的差異性,分析方法相對更為復(fù)雜,,通常需要借助計算機模擬和計算等手段來精確測量參數(shù),。

無論是研究材料性質(zhì)、表面形貌,,還是進行質(zhì)量控制和判別等方面,,白光干涉儀都具有廣泛的應(yīng)用前景。

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SuperViewW1白光干涉儀能夠以優(yōu)于納米級的分辨率,,測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D,,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù),。無論是研究材料性質(zhì),、表面形貌,還是進行質(zhì)量控制和判別等方面,,又或者是測量薄膜,、涂層的厚度、光學(xué)膜的質(zhì)量,、光學(xué)器件的性能等,,在材料科學(xué)、光電子學(xué),、微電子學(xué)等領(lǐng)域都扮演著重要的角色,。除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外,具有的測量晶圓翹曲度功能,,非常適合晶圓,,太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量,,應(yīng)變測量以及表面形貌測量。

結(jié)果組成:

1,、三維表面結(jié)構(gòu):粗糙度,,波紋度,表面結(jié)構(gòu),,缺陷分析,,晶粒分析等;

2,、二維圖像分析:距離,,半徑,斜坡,,格子圖,,輪廓線等;

3,、表界面測量:透明表面形貌,,薄膜厚度,透明薄膜下的表面,;

4,、薄膜和厚膜的臺階高度測量;

5,、劃痕形貌,,摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量,;

6,、微電子表面分析和MEMS表征。

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總之,,白光干涉儀并非只能測量同質(zhì)材料,。盡管在非同質(zhì)材料的測量中需要更多的校準(zhǔn)和計算,但通過精確的技術(shù)和分析方法,,它仍然可以提供準(zhǔn)確,、詳細(xì)而可靠的測量結(jié)果,幫助我們深入研究材料的特性和性能,。

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