1.基本信息

品牌與型號(hào)：ADT WCS-977

用途：晶圓清洗

別名：晶圓清洗機(jī)

規(guī)格尺寸：W410 X D625 X H980 mm（可能因具體產(chǎn)品有所差異）

產(chǎn)地：可能涉及多個(gè)生產(chǎn)地,，但具體ADT WCS-977的產(chǎn)地信息可能因供應(yīng)商或生產(chǎn)批次而異

2.設(shè)備組成與工作原理

設(shè)備組成：

主體材質(zhì)：內(nèi)部不銹鋼,、外表烤漆涂裝

旋轉(zhuǎn)裝置：變頻馬達(dá)依需求調(diào)整轉(zhuǎn)速

二流體及吹氣裝置：步進(jìn)馬達(dá)控制擺臂速度及擺幅

真空吸盤(pán)：內(nèi)置真空發(fā)生器，支持6寸或8寸真空陶瓷吸盤(pán)

控制單元：可編程控制器,，方便存儲(chǔ)工藝參數(shù)、過(guò)程監(jiān)控及顯示

安全裝置：安全聯(lián)鎖裝置,，信號(hào)燈指示

二氧化碳注入單元：通過(guò)膜接觸器實(shí)現(xiàn)超純水的潔凈CO2注入

工作原理：晶圓連同繃框置于旋轉(zhuǎn)的吸盤(pán)上面,，通過(guò)真空吸盤(pán)吸住晶圓。吸盤(pán)下方的變頻馬達(dá)用于清洗,、吹干及旋干時(shí)的轉(zhuǎn)動(dòng),。利用步進(jìn)馬達(dá)轉(zhuǎn)動(dòng)二流體噴嘴及噴氣嘴，噴灑清洗劑及清除切屑,、雜質(zhì),，并吹干水分。

3.技術(shù)參數(shù)

晶圓大尺寸：可能支持多種尺寸,，但具體需根據(jù)產(chǎn)品說(shuō)明

轉(zhuǎn)速范圍：可能達(dá)到500-3000 rpm（具體根據(jù)設(shè)備型號(hào)和配置）

電源電壓：230VAC 50Hz 5A（可能因地區(qū)和設(shè)備配置有所不同）

CDA供給壓力：0.5-0.6 MPa

CDA大消耗量：3 m3/h

去離子水供給壓力：0.2-0.3 MPa

去離子水大消耗量：100 L/h

4.應(yīng)用與優(yōu)勢(shì)

應(yīng)用域：半導(dǎo)體制造過(guò)程中的晶圓清洗,，包括擴(kuò)散清洗、柵氧化清洗,、外延清洗等多個(gè)環(huán)節(jié),。

優(yōu)勢(shì)：清洗精度高，能夠有效清洗晶圓背面,、斜面及邊緣,。避免晶圓片之間的交叉污染。自動(dòng)化程度高,，提高生產(chǎn)效率,。