全自動超聲清洗機

適用材料：Si,、SiC、砷化鎵,、氧化鎵,、氮化鎵、玻璃,、石英,、基板、陶瓷,、InP,、藍寶石、鈮酸鋰,、鉭酸鋰等

適用晶片尺寸：2~12寸（方片/圓片）

清洗方式：藥劑超聲+水超聲

適用工藝段：研磨后,、粗拋后、精拋后,、CMP后,、減薄后等工藝

全自動超聲波清洗機設(shè)備配置：

機架：SUS304

外殼：SUS304鏡面板

藥液管路：根據(jù)藥液適配

槽材質(zhì)：SUS316L  2mm

水槽材質(zhì)：PPN 10T

純水管路：Cl-PVC

排氣：SUS304

工藝槽功能：加熱+循環(huán)過濾+拋動+超聲

水槽功能：噴淋+溢流+鼓泡+快排

機械臂：SUS316

控制方式：PLC+觸控屏（或PC+觸控）

質(zhì)保：12個月

槽體功能詳細介紹：

工藝堿超聲槽

2 槽體尺寸：設(shè)計確認

2 溶液：堿性洗劑

2 工藝溫度：RT -80±2℃ 

2 槽材質(zhì)：SUS316L折彎焊接加工而成，槽底傾斜設(shè)計,，加熱溢流循環(huán)超聲結(jié)構(gòu),；

2 加熱方式：通過式加熱；加熱器不放置于槽底,，采用專用器件懸掛于外壁兩側(cè),，間接加熱藥液。槽底無加熱器,，若采用槽底加熱器將會對超聲效果有影響,；

2 循環(huán)：溢流出的溶液通過泵從底部注入工作槽（循環(huán)管路中設(shè)置有過濾裝置，過濾精度0.5um）,，使得藥液溫度更加均衡,，保持工藝的穩(wěn)定性。循環(huán)泵采用進不銹鋼泵,；

2 上液方式：自動供液,；設(shè)備后部設(shè)有自動供液裝置一個泵對應(yīng)兩個桶,；共兩種洗劑；其中1#和2#洗劑相同,；

2 槽體內(nèi)設(shè)置氮氣液位傳感器,，分別為低、中,、高液位,；低于低液位報警防止無液干燒；中與高液位之間為工作液位,，低于中液位自動補液,，高于高液位黃燈亮警示操作人員；高于高液位聲光報警,，漏液警報,；

2 超聲方式：進口超聲系統(tǒng)，功率可調(diào),；

2 計時功能：按下“開始”按鈕,，倒敘計時，可在觸摸屏上直觀顯示工藝時間,。設(shè)定精度1s,。

2 排液方式：自動重力排放，排液口增加過濾裝置

2 槽蓋：配置有不銹鋼自動槽蓋

QDR槽

2 清洗液：DIW

2 槽體尺寸：設(shè)計確認 

2 槽體材質(zhì)：德國進口10mmNPP板焊接而成

2 藥液溫度：RT

2 供水方式：自動,流量壓力可調(diào)

2 排放方式：快排,，直排至廠務(wù),。

2 注水時間＜30S,，排放時間≤5S

2 槽體形狀 : 方形V 型四邊溢流,，噴嘴約往槽體45°傾斜，充分清洗硅片,；槽體下方配有緩沖槽,，廢水先排至緩沖槽后在進行排放

2 工藝流程：放入工件→開始噴淋,同時快排閥打開→底部注水，同時快排閥關(guān)閉,，氮氣鼓泡打開→溢流漂洗＋氮氣鼓泡→快排閥打開,，快速排放，一次沖洗快排工藝結(jié)束

2 工藝時間：1～9999秒可設(shè)定,。循環(huán)沖洗次數(shù),、時間等可在觸摸屏上進行設(shè)定并聲光報警提示

2 上水流量、壓力可調(diào)

2 排放口設(shè)有濾網(wǎng)防止物件堵塞管路,；排放管路設(shè)置廢水回收管路,；

               2 槽體底部設(shè)有勻流板