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QuickOCT-4D--膜厚輪廓儀

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產(chǎn)品標(biāo)簽

光學(xué)相干斷層掃描OATI

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岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司(Dymek Company Ltd ,,下面簡稱岱美)成立于1989年,,是一間擁有多年經(jīng)驗(yàn)的高科技設(shè)備分銷商,主要為數(shù)據(jù)存儲,、半導(dǎo)體,、光通訊、高校及研發(fā)中心提供各類測量設(shè)備,、工序設(shè)備以及相應(yīng)的技術(shù)支持,,并與一些重要的客戶建立了長期合作的關(guān)系。自1989年創(chuàng)立至今,,岱美的產(chǎn)品以及各類服務(wù),、解決方案廣泛地運(yùn)用于中國香港,中國大陸(上海,、東莞,、北京),中國臺灣,,泰國,,菲律賓,馬來西亞,,越南及新加坡等地區(qū),。


岱美在中國大陸地區(qū)主要銷售或提供技術(shù)支持的產(chǎn)品:

晶圓鍵合機(jī)、納米壓印設(shè)備,、紫外光刻機(jī),、涂膠顯影機(jī),、硅片清洗機(jī)、超薄晶圓處理設(shè)備,、光學(xué)三維輪廓儀,、硅穿孔TSV量測、非接觸式光學(xué)三坐標(biāo)測量儀,、薄膜厚度檢測儀,、主動及被動式防震臺系統(tǒng)、應(yīng)力檢測儀,、電容式位移傳感器,、定心儀等。


岱美重要合作伙伴包括有:

Thetametrisis, EVG, FSM, Opto-Alignment, Herz, PLSINTEC, Film Sense, Reditech, Lazin, Delcom, Microsense, Shb, boffotto, RTEC, Kosaka, Nanotronics, MTInc, 4D, Daeil, Microphysics,

n&k Technology, First Nano, Schmitt, LESCO, Otsuka, STI, Kurashiki, Ryokosha, SURAGUS, Westbond...


如有需要,,請聯(lián)系我們,,了解我們?nèi)绾伍_始與您之間的合作,實(shí)現(xiàn)您的企業(yè)或者組織機(jī)構(gòu)長期發(fā)展的目標(biāo),。




膜厚儀,,輪廓儀,EVG鍵合機(jī),,EVG光刻機(jī),,HERZ隔震臺,Microsense電容式位移傳感器

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 產(chǎn)品種類 非接觸式輪廓儀/粗糙度儀
價格區(qū)間 面議 應(yīng)用領(lǐng)域 電子/電池,綜合

QuickOCT-4D™ 將單點(diǎn)可見光光譜域光學(xué)相干斷層掃描 (SD-OCT) 傳感器與高速納米編碼的 X/Y/Z 運(yùn)動控制平臺相結(jié)合,,可以在高達(dá) 66 kHz 的單次測量中捕獲透明薄膜樣品中每層的平面,。QuickOCT-4D™ 穿透深度(高達(dá) 100μm)和軸向分辨率 (5nm) 針對半導(dǎo)體、生命科學(xué)和制藥行業(yè)的多層透明薄膜,、平面基板和功能層的測量進(jìn)行了優(yōu)化,。



系統(tǒng)特點(diǎn)

· 緊湊的臺式裝置,帶環(huán)境外殼

· 單點(diǎn),、非接觸式,、可見光、光譜域光學(xué)相干斷層掃描 (SD-OCT) 傳感器,,測量速率高達(dá) 66 kHz

· 針對測量高反射材料上多層透明薄膜的形貌和厚度進(jìn)行了優(yōu)化

· 納米編碼的 X/Y/Z 運(yùn)動,,帶有磁性直線電機(jī)和交叉滾子軸承,可在 100mm (X),、100mm (Y),、50mm (Z) 上快速光柵或螺旋掃描

· 可用于樣品和托盤固定的真空吸盤

· 用戶友好的 CalcuSurf-4D™ 配方生成、數(shù)據(jù)采集,、表面形貌和多層薄膜分析軟件允許優(yōu)化測量采樣密度,,從而在最高通量下實(shí)現(xiàn)最佳覆蓋


SD-OCT技術(shù)概述

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