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Subnano3D干涉輪廓儀不得不說的優(yōu)點(diǎn)

來源:岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司   2020年09月25日 11:27  
Subnano3D干涉輪廓儀建立在移相干涉測量(PSI),、白光垂直掃描干涉測量(VSI)和單色光垂直掃描干涉測量(CSI)等技術(shù)的基礎(chǔ)上,以其納米級(jí)測量準(zhǔn)確度和重復(fù)性(穩(wěn)定性)定量地反映出被測件的表面粗糙度、表面輪廓、臺(tái)階高度,、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等,。廣泛應(yīng)用于集成電路制造,、MEMS、航空航天,、精密加工,、表面工程技術(shù)、材料,、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域,。

Subnano3D干涉輪廓儀產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn):

1,、美國硅谷研發(fā)的核心技術(shù)和系統(tǒng)軟件,。


2、關(guān)鍵硬件采用美國,、德國、日本等,。


3,、PI納米移動(dòng)平臺(tái)及控制系統(tǒng)。


4,、Nikon干涉物鏡,。


5、NI信號(hào)控制板和Labview64 控制軟件,。


6,、TMC光學(xué)隔振臺(tái)。


7,、測量準(zhǔn)確度重復(fù)性達(dá)到不錯(cuò)的水平(中國計(jì)量科學(xué)研究院證書),。


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