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FR-Scanner-AIO-Mic-XY300

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
產(chǎn)品標(biāo)簽

膜厚儀薄膜厚度測繪微米級

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岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司(Dymek Company Ltd ,,下面簡稱岱美)成立于1989年,,是一間擁有多年經(jīng)驗的高科技設(shè)備分銷商,主要為數(shù)據(jù)存儲,、半導(dǎo)體,、光通訊、高校及研發(fā)中心提供各類測量設(shè)備,、工序設(shè)備以及相應(yīng)的技術(shù)支持,,并與一些重要的客戶建立了長期合作的關(guān)系。自1989年創(chuàng)立至今,,岱美的產(chǎn)品以及各類服務(wù),、解決方案廣泛地運(yùn)用于中國香港,中國大陸(上海、東莞,、北京),,中國臺灣,泰國,,菲律賓,,馬來西亞,越南及新加坡等地區(qū),。


岱美在中國大陸地區(qū)主要銷售或提供技術(shù)支持的產(chǎn)品:

晶圓鍵合機(jī),、納米壓印設(shè)備、紫外光刻機(jī),、涂膠顯影機(jī),、硅片清洗機(jī)、超薄晶圓處理設(shè)備,、光學(xué)三維輪廓儀,、硅穿孔TSV量測、非接觸式光學(xué)三坐標(biāo)測量儀,、薄膜厚度檢測儀,、主動及被動式防震臺系統(tǒng)、應(yīng)力檢測儀,、電容式位移傳感器,、定心儀等。


岱美重要合作伙伴包括有:

Thetametrisis, EVG, FSM, Opto-Alignment, Herz, PLSINTEC, Film Sense, Reditech, Lazin, Delcom, Microsense, Shb, boffotto, RTEC, Kosaka, Nanotronics, MTInc, 4D, Daeil, Microphysics,

n&k Technology, First Nano, Schmitt, LESCO, Otsuka, STI, Kurashiki, Ryokosha, SURAGUS, Westbond...


如有需要,,請聯(lián)系我們,,了解我們?nèi)绾伍_始與您之間的合作,實現(xiàn)您的企業(yè)或者組織機(jī)構(gòu)長期發(fā)展的目標(biāo),。




膜厚儀,,輪廓儀,EVG鍵合機(jī),,EVG光刻機(jī),,HERZ隔震臺,Microsense電容式位移傳感器

價格區(qū)間 面議 應(yīng)用領(lǐng)域 能源,電子,制藥,電氣,綜合

產(chǎn)品簡介:

FR-Scanner-AllInOne-Mic-XY300模塊化厚度測繪系統(tǒng)集成了光學(xué),、電子和機(jī)械模塊,,可兼用于對無圖形和圖形薄膜(例如微圖形表面、粗糙表面)進(jìn)行精確測量 ,。

將晶圓放置在真空吸盤上(晶圓尺寸直徑≤300mm)并配備反射率標(biāo)準(zhǔn)件,。 由功能強(qiáng)大的光學(xué)模塊執(zhí)行測量,光斑尺寸小至幾微米,。電動平臺提供XY方向 300 毫米的行程,,在速度,、精度和可重復(fù)性方面具有優(yōu)秀的性能

FR-Scanner-AIO-Mic-XY300提供了:

o 實時反射率光譜測量

o 薄膜厚度、光學(xué)特性,、非均勻性測量,、厚度測繪

o 使用集成的、USB 連接的高質(zhì)量彩色相機(jī)進(jìn)行成像

o 測量參數(shù)廣泛統(tǒng)計數(shù)據(jù)

o 半自動圖案對準(zhǔn)功能用于測量周期性圖形區(qū)域

o 不一樣的軟件功能,,例如:Click2Move (螢?zāi)稽c擊定位量測點),、比例尺


附件:

  • FR-AutoFocus:100mm 長線性軸,用于自動對焦,,具有兩種操作模式:圖像對焦(對比度)/ 反射強(qiáng)度

  • Rotation Module:旋轉(zhuǎn)模塊電動平臺提供高的分辨率和精度

  • FR-FilterWheel:電動濾光輪模塊帶有可容納 12 個濾光片的插槽由計算機(jī)自動控制: 濾光片尺寸:直徑0.5英寸,,最多6個過濾器(1英寸)

  • FR-AutoTurret:自動轉(zhuǎn)塔由計算機(jī)控制可容納 4 個物鏡:鏡頭切換速度約為 1.0-3.0 秒

  • Lenses:長工作距離 VIS/NIR 鏡頭: 5X, 10X, 20X, 40X, 50X

  • 反射式 UV/NIR 鏡頭: 10X, 15X, 25X, 40X

  • Pump:低噪音真空泵,2.5L/min,,真空度-60kPa.

  • Chucks:6 英吋光掩??ūP6 英吋帶參考片區(qū)域 ,多晶圓卡盤(100-300 毫米和不規(guī)則形狀片),,包括參考區(qū)域和暗區(qū),用于自動基準(zhǔn)


規(guī)格:

屏幕截圖 2024-03-25 104700.png


二維厚度圖:

FR-Scanner XY-300_1.jpg

3D厚度圖:

FR-Scanner XY-300_2.jpg


測量原理:屏幕截圖 2024-03-25 105726.png






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