臺(tái)式掃描電鏡

EM-30﹢

超高分辨率臺(tái)式掃描電鏡,，將臺(tái)式電鏡的分辨率提高到優(yōu)于5nm的水平，可與傳統(tǒng)大型掃描電鏡相媲美,。該機(jī)型配置了二次電子檢測(cè)器及背散射電子檢測(cè)器,。使得臺(tái)式電鏡具備了完備的表面形貌及元素襯度的觀測(cè)分析功能。

技術(shù)特點(diǎn)

2 超高分辨率（5.0nm @30kV SE）

2 放大倍數(shù) x150,000

2 加速電壓寬泛,，1kV-30kV連續(xù)可調(diào)（1kV步進(jìn)）,；

2 自動(dòng)馬達(dá)臺(tái)

2 可同時(shí)采集二次電子和背散射電子圖像

2 全新升級(jí)的分析軟件，舒適通用

2 CCD樣品導(dǎo)航

高分辨率

EM系列高分辨率臺(tái)式（桌面式）掃描電鏡打破了傳統(tǒng)臺(tái)式掃描電鏡采用BSD探測(cè)器成像的局限性,，采用雙聚光鏡成像技術(shù),，與大型掃描電鏡的成像方式一致，使用二次電子探測(cè)器作為基礎(chǔ)成像單元,，從而 可以獲得更高的分辨率（<5nm）,，圖像表面信息更豐富細(xì)膩，是真正意義上的高分辨率臺(tái)式掃描電鏡,。

同時(shí)刻進(jìn)行二次電子像和背散射電子像收集

EM系列臺(tái)式電鏡可標(biāo)配SE+可伸縮式BSE探測(cè)器,，可實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的元素襯度、形貌襯度分析,，同時(shí)也可選配EDS探測(cè)器（能譜儀）,，對(duì)材料所含元素種類及分布進(jìn)行快速的定性及定量分析。