Laurell WS-650 勻膠旋涂儀
參考價 | ¥ 80000 |
訂貨量 | ≥1臺 |
- 公司名稱 深圳市錫成科學儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 Laurell WS-650
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2025/4/18 8:17:12
- 訪問次數(shù) 907
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產(chǎn)地類別 | 進口 | 應用領域 | 綜合 |
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勻膠旋涂儀WS-650在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,,滴注各類膠液,,利用離心力使膠液均勻涂覆在基片上,旋轉(zhuǎn)速度及時間,、膠液和基片間的粘滯系數(shù)都會影響成膜厚度,,旋轉(zhuǎn)過程及轉(zhuǎn)動系統(tǒng)的穩(wěn)定性對成膜質(zhì)量也有較大影響。
1.樣品尺寸:φ3~300mm
2.加速度:80000rpm/s(空載),,30000rpm/s(負載:100mm標準晶圓)
3.轉(zhuǎn)速:1~12000rpm,,伺服電機分辨率4000P/rev
4.旋轉(zhuǎn)方向:選配Hz型馬達,旋轉(zhuǎn)方向雙向可調(diào)
5.CDA/N2氣流保護技術
6.可選自動滴膠模塊,,EBR晶圓去邊模塊
7.多種托盤可選,,適用各種材質(zhì)的樣品
勻膠旋涂儀托盤解決方案
1.常用真空托盤:10~150mm無需更換。
2.嵌入式:托盤中部做成圓形凹槽,,樣品可嵌入其中,,以避免樣品厚度過大引起氣體渦流效應。
3.蜂窩式:適用于超薄易變形軟質(zhì)材料和易碎材料,。
4.卡式托盤:適用于無法真空吸附的樣品,,或者兩面都需要處理的樣品,因為固定時需要盡量減小與托盤的接觸面積,,也可以使用卡式托盤,,卡式托盤使用時轉(zhuǎn)速不宜過高。