Avantgarde 室溫電磁鐵探針臺不僅可以完成永磁鐵探針臺所能完成的測試，并且可以為樣品測試提供一個可變磁場,，磁場較強,，磁場均勻區(qū)較大。此款探針臺專門為在測量過程中需要連續(xù)磁場變化的實驗設計,，在室溫下對芯片,、晶圓和器件進行非破壞測試。

PSEM系列室溫電磁體探針臺是一款專門針對室溫可變磁場電測環(huán)境開發(fā)的探針臺,，提供±0.6T垂直磁場或±0.3T水平磁場,，能夠對2寸、4寸晶圓片進行重復性的,、標準的電學實驗,，外接不同的測試設備可以完成對器件的電學特性測量、參數測量,、DC測量,、RF測量和霍爾測量。

特點

• 樣品座可以放置4英寸的晶圓樣品,，通過移動樣品座下面的滑臺,，可以實現X-Y軸±50mm的移動行程，并且樣品座本身可以進行三維上的精細調節(jié),，使得樣品測試和換樣    更加便捷,。

• 探針臂底座采用磁鐵吸附固定，可使探針在X-Y-Z三個維度上進行調節(jié),，配合樣品座位移調節(jié),，可滿足探針快速扎到4英寸樣品的任意位置（探針臂最多可安裝6個，水平    磁場電磁鐵探針臺最多可安裝4個）

• 探針臂采用三同軸線纜和三同軸接頭,，漏電性小,，漏電流在100fA以內，探針臂內置線纜,，避免雜亂的走線

• 探針采用針套固定,，只有針尖裸露在外，減小漏電

• 電磁鐵支架與探針臺采用分體隔離支架,，在磁體運動時避免振動傳導到樣品上

• 樣品固定方式采用多孔分區(qū)吸附,，有外圈,、內圈和中間三個單獨控制的氣體吸附通道，最小可吸附固定1mm*1mm樣品

• CCD放大倍數為180倍,，工作距離為100mm