在半導(dǎo)體材料,、光電器件（如太陽能電池、LED,、光電探測器）的研發(fā)與測試中,，高效、精準(zhǔn)且靈活的光電性能表征平臺(tái)至關(guān)重要,。傳統(tǒng)測試往往需要在不同設(shè)備間切換,，配置復(fù)雜光路,，效率低下。本文將為您介紹一款集成化設(shè)計(jì)的高性價(jià)比光電測試探針臺(tái)系統(tǒng),，融合精密電學(xué)測量與靈活光學(xué)激勵(lì)能力,。

核心優(yōu)勢(shì)：一體集成，靈活高效

• 多源激勵(lì)全譜覆蓋：系統(tǒng)支持從紫外 (200nm) 到紅外 (2500nm) 的寬光譜光源,，包括氙燈復(fù)合光源,、激光器、LED 等,。三光柵單色儀結(jié)合消二次色散設(shè)計(jì),，確保高純度的單色光輸出

• 光路靈活尺寸可控：提供聚焦照明與均勻照明兩種模式，光斑尺寸可在 1微米至5毫米 的廣闊范圍內(nèi)精確調(diào)節(jié),，滿足微區(qū)測試與大面積掃描的不同需求,。

• 軟件驅(qū)動(dòng)智能控制：配套軟件是系統(tǒng)的“大腦”，突破性地集成控制光學(xué)激勵(lì)源,、電學(xué)測量儀表（數(shù)字源表）及運(yùn)動(dòng)平臺(tái),。用戶可自定義復(fù)雜的參數(shù)掃描序列（如波長-電壓-電流組合），極大簡化測試流程,。

• 模塊擴(kuò)展功能強(qiáng)大：基礎(chǔ)平臺(tái)支持選配光致發(fā)光光譜 (PL),、電致發(fā)光光譜 (EL) 等高級(jí)測試模塊，滿足前沿研究需求,。

核心部件參數(shù)詳解

• 精密探針臺(tái) (QTY: 1)：

兼容六英寸晶圓或芯片,。

高精度四探針系統(tǒng)，定位底座分辨率達(dá) 0.7微米,。

雙通道低噪聲電學(xué)探測接口,，支持旋轉(zhuǎn)測量。

配備 3.5微米分辨率光學(xué)顯微鏡 及 2000萬像素工業(yè)相機(jī)** (1X-5X數(shù)碼變焦),，實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)觀測與定位,。

提供多種規(guī)格探針 (10/20/50/100μm)。

• 智能可調(diào)光源 (QTY: 1)：

氙燈光源：150W功率,，覆蓋 200nm - 2500nm 光譜,。

三光柵單色儀：焦距300mm，非對(duì)稱光路,，有效抑制雜散光,。

靈活輸出：單色光范圍250-1700nm，帶寬連續(xù)可調(diào) (典型30nm),，配備適用200-1800nm的六位濾光片輪,。

φ200mm 積分球：提供均勻照明，含毫秒級(jí)快門控制,。

全自動(dòng)控制：軟件控制波長掃描,、濾光片切換,、步長、延遲時(shí)間等,。

定制光纖輸出：便于光路靈活配置,。

•  高性能數(shù)字源表 (QTY: 1)：

寬范圍輸出/測量：電壓 (±200mV~200V)，電流 (±1μA~1A),，功率20W,。

超高精度：電流分辨率達(dá) 0.1fA，電壓分辨率 1μV,。

四象限工作：可無縫切換源與阱模式,。

豐富功能：內(nèi)置電壓比較器，數(shù)字I/O,，支持觸發(fā)掃描,。

多接口通訊：GPIB, RS-232, USB, LAN。

• 多功能測試軟件 (QTY: 1)：

集成控制：統(tǒng)一界面控制光源,、源表,、運(yùn)動(dòng)平臺(tái)等設(shè)備。

參數(shù)設(shè)置靈活：可配置輸出通道,、測量通道,、掃描模式 (電壓、電流,、光波長等),、步長、延遲,、循環(huán)次數(shù)等。

豐富曲線繪制：實(shí)時(shí)顯示并分析VI,、IV,、LI、PV,、RI,、PI、RV,、RFI,、BJI、BJV等十余種特性曲線,。

數(shù)據(jù)處理：數(shù)據(jù)濾波（取平均）,、自動(dòng)/手動(dòng)量程設(shè)置。

精度調(diào)節(jié)：測量積分時(shí)間可設(shè) (0.001s~2s),，平衡速度與精度,。

人性化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

• 四維精密運(yùn)動(dòng)：樣品臺(tái)支持 X, Y, Z, R (旋轉(zhuǎn))四軸電動(dòng)控制,，便于精確定位和測量點(diǎn)選擇。

• 快速樣品更換：樣品通過真空吸附固定于底盤,，樣品臺(tái)可快速抽出,，大幅提升換樣效率。

• 模塊化布局：探針臺(tái)體集成4個(gè)高精度探針底座,，預(yù)留光路接口,，結(jié)構(gòu)緊湊穩(wěn)定。

天恒科儀光電耦合測量探針臺(tái)系統(tǒng)通過高度集成化的硬件平臺(tái)與功能強(qiáng)大的智能軟件,，成功解決了傳統(tǒng)光電測試中設(shè)備分散,、操作繁瑣、光路配置復(fù)雜的痛點(diǎn),。

其寬光譜光源激勵(lì)能力,、微米級(jí)電學(xué)定位精度、納安級(jí)電流檢測靈敏度以及靈活的自定義掃描功能,，使其成為材料研究,、光電器件開發(fā)及量產(chǎn)測試中性價(jià)比很高的選擇。

無論是基礎(chǔ)的IV特性測試,，還是復(fù)雜的光電響應(yīng)譜,、EL/PL光譜分析，該系統(tǒng)都能提供高效,、可靠的一站式解決方案,，顯著提升研發(fā)與測試效率。