Avantgarde 室溫手動探針臺的主要用途是為半導體芯片的電參數(shù)測試提供一個測試平臺，外接不同的測量儀器,，配合測量儀器可完成集成電路的電壓,、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測,，用于室溫下的芯片,、晶圓和器件的非破壞性測試。

PSM系列室溫手動探針臺是一款高品質(zhì)的探針臺能夠?qū)?寸,、4寸,、6寸、8寸晶圓片進行大量非破壞性的、標準的電學實驗,，外接不同的測試設(shè)備,，可以完成對器件的電學特性測量、參數(shù)測量,、DC測量,。科學的桌面設(shè)計是學術(shù)和實驗研究,。

特點

• 穩(wěn)定的雙位移調(diào)節(jié)系統(tǒng),，可以調(diào)節(jié)樣品座和探針臂的位移。

• 樣品座可以放置8英寸的晶圓樣品,，采用多孔分區(qū)控制氣體吸附固定,。

• 移動樣品座下面的滑臺，可以實現(xiàn)X-Y軸±100mm的移動行程,，使得樣品測試和換樣更加便捷,。     滑臺采用磁力吸附固定。

• 最多可安裝6個探針臂,。

• 探針臂采用磁鐵吸附,，可任意移動，并且可以三維微調(diào),，操作方便,，扎針精準，四個探針臂的探針       可以扎到樣品的任意位置,。

• 探針臂采用三同軸線纜和三同軸接頭,，漏電流小，在100fA以內(nèi),。

• CCD放大倍數(shù)為180倍,，工作距離為100mm。