Avantgarde 室溫永磁鐵探針臺為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測試提供一個測試平臺,，外接不同的測量儀器,，配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流,、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測,。另外，可用于測量半導(dǎo)體材料的載流子濃度,、遷移率,、電阻率、霍爾系數(shù)等重要的霍爾參數(shù)。在室溫下對芯片,、晶圓和器件進(jìn)行非破壞測試,。

PSPM系列室溫永磁體探針臺是一款專門針對室溫垂直磁場電測環(huán)境開發(fā)的探針臺，提供0.5T垂直磁場,，能夠?qū)?寸,、4寸、6寸,、8寸晶圓片進(jìn)行重復(fù)性的,、標(biāo)準(zhǔn)的電學(xué)實驗，外接不同的測試設(shè)備可以完成對器件的電學(xué)特性測量,、參數(shù)測量,、DC測量、RF測量和霍爾測量,。

特點

• 樣品座可以放置8英寸的晶圓樣品,，通過移動樣品座下面的滑臺，可以實現(xiàn)X-Y軸±100mm的移動行程,，并且樣品座本身可以進(jìn)行三維上的精細(xì)調(diào)節(jié),，使得樣品測試    和換樣更加便捷。

• 探針臂底座采用磁鐵吸附固定,，可使探針在X-Y-Z三個維度上進(jìn)行調(diào)節(jié),，配合樣品座位移調(diào)節(jié)，可滿足探針快速扎到8英寸樣品的任意位置

• 探針臂采用三同軸線纜和三同軸接頭,，漏電性小,，漏電流在100fA以內(nèi)，探針臂內(nèi)置線纜,，避免雜亂的走線

• 探針采用針套固定,，只有針尖裸露在外，減小漏電

• 永磁鐵采用電動控制,，可以實現(xiàn)前進(jìn)后退翻轉(zhuǎn)運動

• 永磁鐵支架與探針臺采用分體隔離支架,，在磁體運動時避免振動傳導(dǎo)到樣品上

• 樣品固定方式采用多孔分區(qū)吸附，有外圈,、內(nèi)圈和中間三個單獨控制的氣體吸附通道,，可吸附固定1mm*1mm樣品