SPSM緊湊型室溫手動(dòng)探針臺(tái)是一款經(jīng)濟(jì)實(shí)惠、入門(mén)級(jí)的探針臺(tái),，能夠?qū)?寸,、4寸寸晶圓片進(jìn)行大量非破壞性的、標(biāo)準(zhǔn)的電學(xué)實(shí)驗(yàn),，外接不同的測(cè)試設(shè)備,，可以完成對(duì)器件的電學(xué)特性測(cè)量,、參數(shù)測(cè)量、DC測(cè)量,。緊湊的桌面設(shè)計(jì)是學(xué)術(shù)和實(shí)驗(yàn)研究的較佳選擇,。（我們可定制PSM-PM-2、4寸探針臺(tái)）

特點(diǎn)

采用金相高精度顯微鏡,，能最小識(shí)別0.1μm的Pad點(diǎn)

樣品座可以放置4英寸的晶圓樣品

樣品座下方位移座可實(shí)現(xiàn)樣品座三維精細(xì)位移調(diào)節(jié)使得樣品測(cè)試和換樣更加便捷,。

最多可安裝6個(gè)探針臂

探針臂采用磁鐵吸附，可任意移動(dòng),，并且可以三維微調(diào),，操作方便，扎針精準(zhǔn),，四個(gè)探針臂的探針可以扎到樣品的任意位置,。

探針臂采用三同軸線纜和三同軸接頭，漏電流小,，

在100fA以?xún)?nèi)

CCD放大倍數(shù)為50-1000倍,，工作距離為100mm

滑臺(tái)和樣品座均采用真空吸附固定。

參數(shù)和指標(biāo)

樣品座

卡盤(pán)尺寸2/4/6/8/12英寸,，可定制

材質(zhì) 鋁合金鍍金

樣品固定方式 多孔吸附

位移行程：X-±12.5mm,，Y-±12.5mm，Z-±6.5mm

移動(dòng)可分辨精度：10μm

探針臂

固定方式：磁鐵吸附

XYZ微調(diào)移動(dòng)行程：XYZ-13mm

微調(diào)可分辨精度：1μm

探針臂數(shù)量 可安裝6個(gè)探針臂（左右各3個(gè)）

電學(xué)線纜 三同軸線纜

漏電流 100fA

探針類(lèi)型 直流探針

光學(xué)系統(tǒng)

顯微鏡放大倍數(shù) 50-1000倍

顯微鏡工作距離 90-100mm

CCD相機(jī)分辨率 彩色2000萬(wàn)像素

可加選件

光學(xué)平臺(tái)

直流探針

樣品座

屏蔽箱

可選聯(lián)用設(shè)備

M81同步源和測(cè)量模塊

M91快速霍爾測(cè)量?jī)x

155精密I/V源

激光儀器