SuperViewW1白光干涉儀檢測儀器由照明光源系統(tǒng),，光學成像系統(tǒng),，垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構成。是目前三維形貌測量領域高精度的檢測儀器之一,。它以白光干涉技術為原理,、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析,，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數(shù),，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量,。

產品功能

1）設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能,；

2）測量中提供自動對焦,、自動找條紋、自動調亮度等自動化輔助功能,；

3）測量中提供自動拼接測量,、定位自動多區(qū)域測量功能；

4）分析中提供校平,、圖像修描,、去噪和濾波,、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

5）分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析,、結構分析、頻率分析,、功能分析等五大分析功能,；

6）分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

主要應用領域

1,、用于太陽能電池測量,；

2、用于半導體晶圓測量,；

3,、用于鍍膜玻璃的平整度（Flatness)測量；

4,、用于機械部件的計量,；

5、用于塑料,，金屬和其他復合型材料工件的測量,。

SuperViewW1白光干涉儀檢測儀器非接觸高精密測量，不會劃傷甚至破壞工件,，在微電子,、微機械、微光學等領域,，可以提供更高精度的檢測需求,。