SuperViewW1白光干涉儀檢測(cè)儀器由照明光源系統(tǒng)，光學(xué)成像系統(tǒng),，垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構(gòu)成,。是目前三維形貌測(cè)量領(lǐng)域高精度的檢測(cè)儀器之一。它以白光干涉技術(shù)為原理,、結(jié)合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D,、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量,。

產(chǎn)品功能

1）設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高,、角度等輪廓尺寸測(cè)量功能；

2）測(cè)量中提供自動(dòng)對(duì)焦,、自動(dòng)找條紋,、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能；

3）測(cè)量中提供自動(dòng)拼接測(cè)量,、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能,；

4）分析中提供校平、圖像修描,、去噪和濾波,、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

5）分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析,、功能分析等五大分析功能,；

6）分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

主要應(yīng)用領(lǐng)域

1,、用于太陽(yáng)能電池測(cè)量,；

2,、用于半導(dǎo)體晶圓測(cè)量；

3,、用于鍍膜玻璃的平整度（Flatness)測(cè)量；

4,、用于機(jī)械部件的計(jì)量,；

5、用于塑料,，金屬和其他復(fù)合型材料工件的測(cè)量,。

SuperViewW1白光干涉儀檢測(cè)儀器非接觸高精密測(cè)量，不會(huì)劃傷甚至破壞工件,，在微電子,、微機(jī)械、微光學(xué)等領(lǐng)域,，可以提供更高精度的檢測(cè)需求,。