VGB-600-3HD 薄膜電池制備系統(tǒng)
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 上海添時科學儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 VGB-600-3HD
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2025/3/13 10:27:50
- 訪問次數(shù) 2695
聯(lián)系方式：范先生18016035557 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,，謝謝!
| 應用領域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,化工,能源,電子/電池 |
|---|
主要特點：
1,、配置三個靶槍,，一個配套射頻電源通過轉換開關可以分別連接至任一靶頭，用于各類靶材的濺射鍍膜（靶槍可以根據(jù)客戶需要任何調(diào)換）,。
2,、可制備多種薄膜，應用廣泛,。
3,、體積小，操作簡便,。
4,、整機模塊化設計，真空腔室,、真空泵組,、控制電源分體式設計，可根據(jù)用戶實際需要調(diào)整,。
5,、可根據(jù)用戶實際需要選擇電源，可以一個電源控制多個靶槍,，也可多個電源單一控制靶槍（選配）,。
6、可在手套箱內(nèi)進行實驗操作,，更換各類易氧化的靶材用于鍍膜實驗,。
技術參數(shù)：
| 產(chǎn)品名稱 | VGB-600-3HD薄膜電池制備系統(tǒng) | |
| 產(chǎn)品型號 | VGB-600-3HD | |
| 主要參數(shù) | 三靶磁控濺射部分 1、電源電壓：220V 50Hz 2,、總功率：2.5KW 3,、極限真空度：< E-6mbar（配合本公司機械泵設備使用可達到 E-3mbar） 4、工作溫度：RT-500℃,，精度±1℃（可根據(jù)實際需要提升溫度） 5,、靶槍數(shù)量：3個 6、靶槍冷卻方式：水冷 7,、靶材尺寸：?2″,，厚度0.1mm-5mm（因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同） 8、濺射電源功率：300W（射頻）/500W（直流） 9、載樣臺：?140mm 10,、載樣臺轉速：1rpm-20rpm內(nèi)可調(diào) 11,、保護氣體：Ar、N2等惰性氣體 12,、進氣氣路：質(zhì)量流量計控制2路進氣,，1個流量為100 SCCM，1個流量為200 SCCM 手套箱部分 1,、電源：單相AC110V-220V 50Hz/60Hz 2,、殼體材料：304不銹鋼 3、手套箱腔體：1220mm×760mm×900mm 4,、前級室：設有2個前級室,，大前級室?360mm×600mm，小前級室?150mm×300mm 5,、腔體環(huán)境：水含量<1ppm（20℃,，1atm），氧含量<1ppm（20℃,，1atm） 6,、工作氣體：N2、Ar,、He等惰性氣體 7,、控制氣體：壓縮空氣或惰性氣體 8、還原氣體：工作氣體和H2的混合氣（如果凈化系統(tǒng)只有除水功能,，還原氣體與工作氣體相同） 9,、氣體凈化系統(tǒng)： 德國BASF除氧材料、美國UOP高效吸水材料,，凈化系統(tǒng)再生過程自動控制,，自動除水、 除氧功能,， 可長期,、持續(xù)維持氣體純度在水<1ppm、氧<1ppm 10,、壓力控制系統(tǒng)：腔體氣壓可通過PLC觸摸屏自動控制,，控制精度為±1Pa，也可通過腳踏開關進行手動控制11,、過濾系統(tǒng)：進,、出氣端都裝有過濾器，過濾精度為0.3μm 12,、控制系統(tǒng)：SIEMENS彩色觸摸屏（6寸）,，PLC控制系統(tǒng),，中英文雙語可切換； 水探頭采用美國GE品牌,，0-1000ppm觸摸屏顯示，精度0.1ppm,； 氧變送器采用美國AII品牌,，0-1000ppm觸摸屏顯示，精度0.1ppm,； 壓力傳感儀采用美國setra品牌,，-2500-2500Pa觸摸屏顯示，精度±1Pa,； 13,、真空泵：采用英國EDWARDS品牌，抽速8.4m3/h-12m3/h 14,、手套：美國NORTH品牌丁基合成橡膠 15,、照明系統(tǒng)：飛利浦品牌熒光燈管 | |
| 產(chǎn)品規(guī)格 | 三靶磁控濺射部分：950mm×460mm×810mm | |
采購中心
化工儀器網(wǎng)