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VTC-600-1HD 單靶磁控濺射儀

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
產(chǎn)品標(biāo)簽

磁控濺射磁控濺射儀

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上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司是一家代理國內(nèi)外儀器的經(jīng)銷及技術(shù)服務(wù)的專業(yè)公司。國內(nèi)管式爐,,退火爐,,氣氛爐,真空感應(yīng)熔煉爐,,箱式爐,,手套箱,研磨拋光機(jī),,電池測試恒溫箱,,金剛石線切割機(jī),磁控濺射儀,,蒸發(fā)鍍膜,,PECVD設(shè)備供應(yīng)商,!

公司所涉及的產(chǎn)品遍布大專院校、科研單位,、工廠企業(yè),、商檢、農(nóng)業(yè),、食品,、超市、治金礦山,、建筑,、石油、路橋等行業(yè),。

主要產(chǎn)品:生命科學(xué)儀器,,化學(xué)分析儀器,光學(xué)儀器,,物性測試儀器及設(shè)備,,環(huán)保設(shè)備/流量儀表,行業(yè)專用儀器,,藥物檢測儀器,,種子儀器,農(nóng)業(yè)和食品儀器,,石油儀器,,煤炭儀器,測繪儀表,,建筑儀器,,公路儀器,地質(zhì)儀器,,電工儀器儀表,,自動化儀表,氣象儀器,,環(huán)保儀器,,電教器材,無線電儀器,,小型機(jī)械等,。并且提供與生物技術(shù)相關(guān)的實(shí)驗(yàn)室科研儀器設(shè)備、實(shí)驗(yàn)室耗材與試劑,、實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)、規(guī)劃,、改建等服務(wù),。公司以“高品質(zhì),,高服務(wù),高信譽(yù)”贏得各地市場,,各個領(lǐng)域的好評和歡迎,。

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公司宗旨:客戶至上 誠信為本 開拓創(chuàng)新 成就*




紫外可見分光光度計(jì),,原子熒光光度計(jì),原子吸收分光光度計(jì),,紫外分光光度計(jì),,氣相色譜儀,液相色譜儀,,電子天平,,旋光儀,熔點(diǎn)儀

應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,石油,能源,電子/電池
    單靶磁控濺射儀主要特點(diǎn):

    1,、可選一個靶槍,,配套射頻電源用于非導(dǎo)電靶材的濺射鍍膜或配套直流電源用于導(dǎo)電性材料的濺射鍍膜。

    2,、可制備多種薄膜,,應(yīng)用廣泛。

    3,、體積小,,操作簡便。

    技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品名稱 VTC-600-1HD單靶磁控濺射儀
產(chǎn)品型號 VTC-600-1HD
安裝條件 本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用,。
1,、水:設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)(加注純凈水或者去離子水)
2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地
3,、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(自帶Ø6mm雙卡套接頭)及減壓閥
4,、工作臺:尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上
5,、通風(fēng)裝置:需要
主要參數(shù) 1,、電源電壓:220V  50Hz
2、功率:<1KW(不含真空泵)
3、極限真空度:9.0×10-4Pa
4,、樣品臺加熱溫度:RT-500℃,,精度±1℃(可根據(jù)實(shí)際需要提升溫度)
5、靶槍數(shù)量:1個(可選配其他數(shù)量)
6,、靶槍冷卻方式:水冷
7,、靶材尺寸:Ø2″,厚度0.1-5mm(因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同)
8,、直流濺射功率:500W;射頻濺射功率:300W.(靶電源種類可選,可選擇直流或射頻電源)
9,、載樣臺:Ø140mm,可根據(jù)客戶需求選配加裝偏壓功能,以實(shí)現(xiàn)更高質(zhì)量的鍍膜。
10,、載樣臺轉(zhuǎn)速:1rpm-20rpm內(nèi)可調(diào)
11,、工作氣體:Ar等惰性氣體
12、進(jìn)氣氣路:質(zhì)量流量計(jì)控制2路進(jìn)氣,一路為100SCCM,另一路為200SCCM,。
產(chǎn)品規(guī)格 1,、主機(jī)尺寸:500mm×560mm×660mm
2、整機(jī)尺寸:1300mm×660mm×1200mm
3,、重量:160kg
4,、真空室規(guī)格:φ300×300mm
標(biāo)準(zhǔn)配件 1、直流電源控制系統(tǒng)1套(可選)
2,、射頻電源控制系統(tǒng)1套(可選)
3,、冷水機(jī)1臺
4、冷卻水管(Ø6mm)4根
可選配件 1,、金,、銦、銀,、白金等各種靶材
2,、膜厚監(jiān)測儀系統(tǒng)
3、分子泵(德國進(jìn)口)

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