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VTC-600-2HD-1000 雙靶磁控濺射儀

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磁控濺射磁控濺射儀

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上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司是一家代理國內(nèi)外儀器的經(jīng)銷及技術(shù)服務(wù)的專業(yè)公司。國內(nèi)管式爐,,退火爐,,氣氛爐,真空感應(yīng)熔煉爐,,箱式爐,,手套箱,研磨拋光機(jī),,電池測試恒溫箱,,金剛石線切割機(jī),磁控濺射儀,,蒸發(fā)鍍膜,,PECVD設(shè)備供應(yīng)商!

公司所涉及的產(chǎn)品遍布大專院校,、科研單位,、工廠企業(yè)、商檢,、農(nóng)業(yè),、食品、超市,、治金礦山,、建筑、石油,、路橋等行業(yè),。

主要產(chǎn)品:生命科學(xué)儀器,化學(xué)分析儀器,,光學(xué)儀器,,物性測試儀器及設(shè)備,環(huán)保設(shè)備/流量儀表,行業(yè)專用儀器,,藥物檢測儀器,,種子儀器,農(nóng)業(yè)和食品儀器,,石油儀器,,煤炭儀器,測繪儀表,,建筑儀器,,公路儀器,地質(zhì)儀器,,電工儀器儀表,,自動(dòng)化儀表,氣象儀器,,環(huán)保儀器,,電教器材,無線電儀器,,小型機(jī)械等,。并且提供與生物技術(shù)相關(guān)的實(shí)驗(yàn)室科研儀器設(shè)備、實(shí)驗(yàn)室耗材與試劑,、實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì),、規(guī)劃、改建等服務(wù),。公司以“高品質(zhì),,高服務(wù),高信譽(yù)”贏得各地市場,,各個(gè)領(lǐng)域的好評和歡迎,。

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公司宗旨:客戶至上 誠信為本 開拓創(chuàng)新 成就*




紫外可見分光光度計(jì),,原子熒光光度計(jì),原子吸收分光光度計(jì),,紫外分光光度計(jì),,氣相色譜儀,,液相色譜儀,電子天平,,旋光儀,,熔點(diǎn)儀

應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,道路/軌道/船舶
    雙靶磁控濺射儀主要特點(diǎn):

    1、配置兩個(gè)靶槍,,一個(gè)配套射頻電源用于非導(dǎo)電靶材的濺射鍍膜,,一個(gè)配套直流電源用于導(dǎo)電性材料的濺射鍍膜。

    2,、可制備多種薄膜,,應(yīng)用廣泛。

    3,、體積小,,操作簡便。

    技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品名稱 VTC-600-1HD單靶磁控濺射儀
產(chǎn)品型號 VTC-600-1HD
安裝條件 本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用,。
1,、水:設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)(加注純凈水或者去離子水)
2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地
3,、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(自帶Ø6mm雙卡套接頭)及減壓閥
4、工作臺(tái):尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上
5,、通風(fēng)裝置:需要
主要參數(shù) 1,、輸入電源:220V/50Hz
2、濺射靶數(shù)量:2
3,、靶槍冷卻方式:水冷
4,、極限真空度:7.4E-5pa
5、真空室規(guī)格:Φ300×330 mm
6,、真空系統(tǒng):VRD-16機(jī)械泵 FF-100/150渦輪分子泵
7,、恢復(fù)真空:系統(tǒng)從大氣抽至5.0E-3pa≤30 min(系統(tǒng)短時(shí)間暴露大氣)
8、充氣系統(tǒng):2路質(zhì)量流量計(jì)(1路氬氣100scc,、2路氬氣200scc)特殊氣體可定制
9,、濺射靶規(guī)格:Φ2",厚度0.1-5mm(因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同)
10、樣品臺(tái):Φ140mm/可旋轉(zhuǎn)(1~20rpm)/可加熱(室溫~1000℃)
產(chǎn)品規(guī)格 主機(jī)尺寸:寬900mm×深650mm×高1100mm

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