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VTC-600-3HD 三靶磁控濺射儀

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
產(chǎn)品標(biāo)簽

磁控濺射磁控濺射儀

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上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司是一家代理國內(nèi)外儀器的經(jīng)銷及技術(shù)服務(wù)的專業(yè)公司。國內(nèi)管式爐,,退火爐,,氣氛爐,真空感應(yīng)熔煉爐,,箱式爐,,手套箱,研磨拋光機(jī),,電池測(cè)試恒溫箱,,金剛石線切割機(jī),磁控濺射儀,,蒸發(fā)鍍膜,,PECVD設(shè)備供應(yīng)商!

公司所涉及的產(chǎn)品遍布大專院校,、科研單位,、工廠企業(yè)、商檢,、農(nóng)業(yè),、食品、超市,、治金礦山,、建筑、石油,、路橋等行業(yè),。

主要產(chǎn)品:生命科學(xué)儀器,化學(xué)分析儀器,,光學(xué)儀器,,物性測(cè)試儀器及設(shè)備,環(huán)保設(shè)備/流量?jī)x表,,行業(yè)專用儀器,,藥物檢測(cè)儀器,種子儀器,農(nóng)業(yè)和食品儀器,,石油儀器,,煤炭?jī)x器,測(cè)繪儀表,,建筑儀器,,公路儀器,地質(zhì)儀器,,電工儀器儀表,,自動(dòng)化儀表,氣象儀器,,環(huán)保儀器,,電教器材,無線電儀器,,小型機(jī)械等,。并且提供與生物技術(shù)相關(guān)的實(shí)驗(yàn)室科研儀器設(shè)備、實(shí)驗(yàn)室耗材與試劑,、實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì),、規(guī)劃、改建等服務(wù),。公司以“高品質(zhì),高服務(wù),,高信譽(yù)”贏得各地市場(chǎng),,各個(gè)領(lǐng)域的好評(píng)和歡迎。

未來,,公司將引進(jìn)和代理更多國內(nèi)產(chǎn)品,,并將研發(fā)自有品牌的產(chǎn)品以滿足市場(chǎng)不同的需求,以更高質(zhì)量的產(chǎn)品,,更高質(zhì)量的服務(wù),,更高效率的運(yùn)營,樸素而先進(jìn)的管理理念,,為客戶提供更優(yōu)良的產(chǎn)品和服務(wù),!

公司宗旨:客戶至上 誠信為本 開拓創(chuàng)新 成就*




紫外可見分光光度計(jì),原子熒光光度計(jì),,原子吸收分光光度計(jì),,紫外分光光度計(jì),氣相色譜儀,,液相色譜儀,,電子天平,旋光儀,熔點(diǎn)儀

應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池
    三靶磁控濺射儀主要特點(diǎn):

    1,、配置三個(gè)靶槍,,一個(gè)配套射頻電源用于非導(dǎo)電靶材的濺射鍍膜,兩個(gè)配套直流電源用于導(dǎo)電性材料的濺射鍍膜(靶槍可以根據(jù)客戶需要任意調(diào)換),。

    2,、可制備多種薄膜,應(yīng)用廣泛,。

    3,、體積小,操作簡(jiǎn)便,。

    4,、整機(jī)模塊化設(shè)計(jì),真空腔室,、真空泵組,、控制電源分體式設(shè)計(jì),可根據(jù)用戶實(shí)際需要調(diào)整,。

    5,、可根據(jù)用戶實(shí)際需要選擇電源,可以一個(gè)電源控制多個(gè)靶槍,,也可多個(gè)電源單一控制靶槍,。

    技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品名稱 VTC-600-3HD雙靶磁控濺射儀
產(chǎn)品型號(hào)
VTC-600-3HD
安裝條件 本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,,濕度55%Rh±10%Rh下使用,。
1、水:設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)(加注純凈水或者去離子水)
2,、電:AC220V 50Hz,,必須有良好接地
3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度99.99%以上),,需自備氬氣氣瓶(自帶Ø6mm雙卡套接頭)及減壓閥
4,、工作臺(tái):尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上
5,、通風(fēng)裝置:需要
主要參數(shù)
1,、電源電壓:220V  50Hz
2、總功率:<2.5KW
3,、極限真空度:< E-6mbar(配合本公司設(shè)備使用可達(dá)到 E-5mbar)
4,、工作溫度:RT-500℃,精度±1℃(可根據(jù)實(shí)際需要提升溫度)
5,、靶槍數(shù)量:3個(gè)
6,、靶槍冷卻方式:水冷
7,、靶材尺寸:Ø2″,厚度0.1mm-5mm(因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同)
8,、直流濺射功率:500W(可選)
9,、射頻濺射功率:300W/500W(可選)
10、載樣臺(tái):Ø140mm,,可根據(jù)客戶需求選配加裝偏壓功能,,以實(shí)現(xiàn)更高質(zhì)量的鍍膜。
11,、載樣臺(tái)轉(zhuǎn)速:1rpm-20rpm內(nèi)可調(diào)
12,、保護(hù)氣體:Ar、N2等惰性氣體
13,、進(jìn)氣氣路:質(zhì)量流量計(jì)控制2路進(jìn)氣,,1個(gè)流量為100 SCCM,1個(gè)流量為200 SCCM

產(chǎn)品規(guī)格

主機(jī)尺寸:500mm×560mm×660mm,,
整機(jī)尺寸:1300mm×660mm×1200mm,;
重量:160kg

標(biāo)準(zhǔn)配件 1直流電源控制系統(tǒng)2套
2射頻電源控制系統(tǒng)1套
3膜厚監(jiān)測(cè)儀系統(tǒng)1套
4分子泵(德國進(jìn)口)1臺(tái)
5冷水機(jī)1臺(tái)
6冷卻水管(Ø6mm)4根
可選配件

金、銦,、銀,、鉑等各種靶材
掩膜版
振動(dòng)樣品臺(tái)

 

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