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UV-KUB0-3 新一代曝光光刻機UV KUB 3

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 北京燕京電子有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 UV-KUB0-3
  • 產(chǎn)地 法國
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時間 2022/8/5 11:48:23
  • 訪問次數(shù) 1247

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北京燕京電子有限公司成立于1988年,,注冊資金2124萬元。公司位于北京城東北部酒仙橋的中關(guān)村電子城科技園區(qū)內(nèi),,建筑面積2000多平方米,,地理位置*,交通便利,。自成立以來,,燕京電子一貫秉承"以科技為先導(dǎo),以服務(wù)為根本"的宗旨,,為科研院所和生產(chǎn)企業(yè)提供*的儀器設(shè)備及解決方案,,以其良好的企業(yè)形象和品牌價值,發(fā)展成了業(yè)內(nèi)*的儀器設(shè)備服務(wù)商之一,。 燕京電子一直以"科技*"的姿態(tài),,將*的儀器、技術(shù)和解決方案引入國內(nèi),,并依托于公司強大的技術(shù)力量,,為客戶創(chuàng)造價值,幫助客戶成功,。目前,,公司已經(jīng)形成多個產(chǎn)品系列,如電子測量儀器,、表面物性分析儀器,、生命科 學(xué)及化學(xué)分析儀器、等離子表面處理設(shè)備等,;產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域包括物理學(xué),、光學(xué)、材料科學(xué)、納米技術(shù),、環(huán)境及食品安全等領(lǐng)域,;客戶覆蓋了全國各科研機構(gòu)、大學(xué)實驗室和企業(yè)研發(fā)機構(gòu),,與他們建立了長期的合作關(guān)系,。 燕京電子堅持以客戶為導(dǎo)向,,強化服務(wù)意識,,提高服務(wù)質(zhì)量。公司設(shè)有市場部和銷售部,,擁有專業(yè)的技術(shù)支持團隊和商務(wù)操作團隊,,為客戶提供專業(yè)化的售前、售中,、售后服務(wù),,較大化地節(jié)約客戶的資金成本和時間成本,與客戶共同發(fā)展,。公司設(shè)有獨立測試演示中心,,引進了等離子表面處理設(shè)備、鎖相放大器,,信號發(fā)生器等樣機,,為客戶提供樣機操作演示,樣品測試和產(chǎn)品代工服務(wù),,較大化滿足客戶的*需求,。

 

微流控泵,微流體泵,,微流控芯片,,鎖相放大器,膜厚測試儀,,橢偏儀,,面阻測試儀,等離子清洗機,,等離子表面處理機

價格區(qū)間 面議 儀器種類 微流控芯片系統(tǒng)
應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),農(nóng)業(yè),石油

新一代曝光光刻機UV KUB 3

新一代曝光光刻機UV KUB 3是一款集成式桌面型紫外曝光光刻機,,其 采用 365nm 紫外 LED 冷光源以及高精密光學(xué)準直系 統(tǒng),可實現(xiàn) 1um 的光刻精度和小于 2°的發(fā)散角,。UV KUB 3采用開放式樣品盤,,可以進行不同模式的曝光 光刻,如軟接觸或硬接觸模式,;同時配備了高精密 的位移臺,,輔以雙 CCD 成像系統(tǒng),可在 5 分鐘內(nèi)實 現(xiàn) 1um 的對位精度。

 

特色

  • UV LED 光源
  • 設(shè)計緊湊,,操作簡單
  • 高精度 365nm +/- 5nm 單色光光源
  • 可進行軟接觸和硬接觸曝光光刻(含
  • 壓力測量傳感器)
  • 兼容目前市場上的全部光刻膠
  • 分辨率: < 1µm
  • 手柄自動巡航對位,,對位精度: 1µm

 

主要性能

  • 365nm 單色 LED 光源,帶寬小于 10nm
  • 圖像輔助的自動巡航 PAD 操作對準定位系統(tǒng)
  • 采用高光強 LED 冷光源,,避免光源發(fā)熱引起的溫度
  • 變化干擾,,提高光刻面均勻性;
  • 光源壽命大于 10000 小時,,減少維護及使用成本,;
  • 可調(diào)節(jié) UV 光強
  • 友好的觸摸屏操作界面,可編程光刻工藝,;
  • 無需預(yù)熱,,快速開始進入工作狀態(tài);
  • 全封閉紫外曝光區(qū)域,,保障操作人員的安全,;
  • 半自動晶圓上下料系統(tǒng)
  • 低功耗,節(jié)能環(huán)保

?

 

性能指標

  • zui小光刻尺寸 1µm
  • 對位精度 1µm
  • 紫外光源波長 365nm +/- 5nm
  • 光源光強 35mW/cm² +/- 10%
  • 光刻區(qū)域工作溫度變化 < 1°C
  • 工藝時間 (連續(xù)/非連續(xù)模式) From 1s to 1h
  • 可保存光刻工藝數(shù)量 無限制
  • 外形尺寸 475x480x515mm
  • 總重量 55kg / 121lbs
  • 觸摸屏尺寸 15.6 diagonal,color
  • 供電電源 100V/240V
  • 50Hz/60Hz
  • 功耗 180 Watts


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