KLOE 微流控芯片光刻機(jī)/曝光機(jī) UV-KUB系列
- 公司名稱 北京燕京電子有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2022/8/5 13:54:23
- 訪問(wèn)次數(shù) 1716
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微流控泵,微流體泵,,微流控芯片,,鎖相放大器,膜厚測(cè)試儀,,橢偏儀,,面阻測(cè)試儀,等離子清洗機(jī),,等離子表面處理機(jī)
價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 儀器種類 | 微流控芯片系統(tǒng) |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),石油 |
KLOE 微流控芯片光刻機(jī)/曝光機(jī) UV-KUB系列
圖片
簡(jiǎn)介
法國(guó)KLOE公司在光刻方面有著豐富的經(jīng)驗(yàn),,其研發(fā)的UV- KUB系列光刻機(jī)是一種基于UV LED的曝光機(jī)系統(tǒng),結(jié)構(gòu)緊湊,,可以直接放置在實(shí)驗(yàn)臺(tái)上,,能夠處理大直徑4英寸的晶圓,兼容硬接觸(接觸式)或者軟接觸(接近式)工藝,,可自動(dòng)調(diào)整掩膜高度以適應(yīng)不同的基板厚度,,可使用365 nm或405 nm的光源,不需要預(yù)熱,,也不需要單獨(dú)的冷卻單元。另外,,UV-KUB系列*的設(shè)計(jì),,保證了光源的準(zhǔn)直性和均勻性,其小分辨率可達(dá)2μm,,大發(fā)散角小于2°
本系統(tǒng)適用于市面上常用的光刻膠,,如AZ系列,、Shipley系列、SU-8系列和K-CL系列,。
規(guī)格參數(shù)
功能圖解
UV-KUB 2型光刻機(jī),,是市場(chǎng)上一款采用UV-LED光源系統(tǒng)的光刻機(jī),其配備了基于LED光源的光學(xué)頭,,使用壽命大大提高,,結(jié)構(gòu)小巧,性價(jià)比高,,非常適合實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用,。
UV-KUB 3是一款帶對(duì)位功能的UV-LED曝光機(jī),光源為365nm,,其觸摸屏和CCD相機(jī)代替了傳統(tǒng)的顯微鏡及雙筒目鏡,,控制器提供了圖像捕獲、測(cè)量以及對(duì)齊坐標(biāo)的記錄等功能,,可以實(shí)現(xiàn)預(yù)對(duì)準(zhǔn),,這樣,用戶再通過(guò)操作手柄便能方便的進(jìn)行終的對(duì)準(zhǔn)操作,。
UV-KUB 2
UV-KUB 3
應(yīng)用系統(tǒng)
微流控芯片
MEMS器件