污染物對電子顯微鏡SEM/TEM和其它高真空系統(tǒng)產(chǎn)生的影響

潤滑劑,、真空脂,、泵油樣品中的高分子聚合物，或未經(jīng)處理的空氣都會(huì)把碳?xì)湮廴疚镆秸婵障到y(tǒng)中,。低蒸汽壓下高分子重污染物會(huì)凝聚在樣品表面和腔室壁上,，而使用普通氣體吹掃方法很難把碳?xì)湮廴疚锴宄?/span>

電子和高能光子(EUV, X-ray)能夠分解存在于真空系統(tǒng)中或樣品上的碳?xì)湮廴疚铩Ｌ細(xì)浠衔锏姆纸猱a(chǎn)物沉積在被觀測的樣品表面或電子光學(xué)部件上,。這種碳?xì)湮廴境练e會(huì)降低EUV的鏡面反射率,，降低SEM圖像對比度和分辨率，造成錯(cuò)誤的表面分析結(jié)果,，沉積在光闌或其它電子組件的不導(dǎo)電碳?xì)湮廴疚锷踔習(xí)斐呻娮邮恢没蚓劢咕徛?。?/span>ALD系統(tǒng)中，樣品表面的碳?xì)湮廴疚镞€會(huì)降低薄膜的界面匹配質(zhì)量,。

遠(yuǎn)程等離子清潔的原理

遠(yuǎn)程等離子源需安裝在要被清潔的真空腔室上,，控制器向遠(yuǎn)程離子源提供射頻能量。射頻電磁場能激發(fā)等離子體,，分解輸入氣體而產(chǎn)生氧或氫的活性基,，活性基會(huì)擴(kuò)散到下游的真空腔室，并與其中的污染物發(fā)生化學(xué)反應(yīng),，反應(yīng)產(chǎn)物能輕易地被抽走,。遠(yuǎn)程等離子清洗機(jī)可同時(shí)清潔真空系統(tǒng)和樣品。

技術(shù)特點(diǎn)：

快速清潔被污染的SEM樣品,。2-60秒氫等離子體清潔ALD樣品,。不需減速或關(guān)閉渦輪分子泵

低等離子偏壓設(shè)計(jì)減少離子濺射和顆粒生成。結(jié)合多級氣體過濾技術(shù)，SEMI-KLEEN能夠滿足用戶苛刻的顆粒污染清除要求

可選藍(lán)寶石管腔體和耐腐蝕性氣體的流量控制器,，以便支持CF4, NF3, NH3, HF, H2S等應(yīng)用

*的等離子強(qiáng)度傳感器可實(shí)時(shí)監(jiān)測等離子狀態(tài),，用戶對等離子狀態(tài)一目了然

基于壓力傳感回饋控制的自動(dòng)電子流量控制器，無需手動(dòng)調(diào)節(jié)針閥

直觀的觸摸屏操作,，可定義60條清洗程序方案

擁有智能安全操作模式和專家控制模式,；SmartScheduleTM定時(shí)裝置，通過檢測樣品裝載次數(shù)或時(shí)間間隔來定時(shí)清潔系統(tǒng)

 技術(shù)指標(biāo)

1. 等離子源真空接口：NW/KF40 法蘭; 提供轉(zhuǎn)接法蘭,；

2. 標(biāo)配等離子強(qiáng)度傳感器,；

3. 等離子源低點(diǎn)火起輝氣壓：<0.1毫托；

4. 等離子源高工作氣壓：>1.0 托,；

5. 漏氣率：<0.005sccm,；

6. 射頻輸出：0~100瓦，連續(xù)可調(diào)節(jié),；

7. 具有射頻自動(dòng)匹配功能

8. 電源和功率：220V, 50Hz,

低電磁干擾設(shè)計(jì),，安靜的待機(jī)模式