品牌：PIE

型號：Tergeo EM

Tergeo EM型樣品桿清潔等離子清潔儀

*的雙清洗模式（immersion和downstream）能夠處理各種不同的樣品，從嚴重污染的電子光學孔徑光闌到各種脆弱易損樣品,，如石墨烯,、碳納米管、類金剛石碳膜以及多孔碳支持膜銅網(wǎng)上的TEM樣品,。石英樣品托板上的孔洞可以安裝標準SEM樣品托,。特別設計的適配器可以清潔不同廠家的TEM樣品桿。

特點：

1. 系統(tǒng)具有雙等離子源,。浸入式等離子源用于主動表面處理,、光刻膠蝕刻。遠程式等離子源用于溫和的污染清除以及脆弱易損樣品的表面活化

2. 13.56MHz高頻射頻發(fā)生器

3. 7英寸觸摸屏控制界面,，全自動操作

4. 標配75W版本,，可選150W版本

5. 標配2路氣體輸入，可選第三路氣體輸入

6. 可選與FEI,、JEOL,、HITACHI等TEM樣品桿配套的適配器

7. AC輸入：通用(110~230V, 50/60Hz)

除了Tergeo EM型SEM & TEM樣品清潔等離子清潔儀，另有Tergeo Basic基本型等離子清潔儀和Tergeo Plus型大腔室等離子清潔儀

三、技術參數(shù)

1,、控制系統(tǒng)

1）操作界面：7英寸電阻觸摸屏操作界面,，支持多種工作方式。

2）程序控制：可編程,，總共有20個程序,，每個程序有3個清潔步驟

2、反應腔體

1）腔體材質：圓柱形石英玻璃艙,。

2）腔體尺寸：內徑110毫米,，外徑120毫米，深度280毫米,，壁厚：5毫米,。

3）前觀測窗：前方開口，5毫米厚石英玻璃可視窗口,，可觀測內腔等離子狀態(tài),，并帶有防真空泄漏和避免高壓的聯(lián)鎖裝置，有效保護操作的安全性,；

3,、射頻電源

1）射頻頻率：13.56MHz

2）射頻功率：標配0~75W；可選配0~150W,。從0瓦到150瓦之間以1瓦間距連續(xù)可調,，自動阻抗匹配。

3）射頻輸出可以工作在脈沖方式,，脈沖比可以從1/255調到255/255（連續(xù)輸出）,。

4、等離子源

1）等離子強度探測器實時測量等離子源強度,。

2）電阻耦合電離方式,。

3）外置電極設計,，高壓電極不合等離子接觸以避免金屬濺射造成的樣品污染,。

5、氣體控制

1）氣路控制：標配一路MFC,；可選配三路MFC,；

2）質量流量計可以在0~100sccm之間控制氣體流量；

3）一路(Venting and purging)氣體入口用來快速給樣品室放氣和沖走殘余處理氣體,。

4）自動放氣流程控制可以保護真空泵不受影響,。

5）高性能氣壓計可以測量1e-4 Torr到大氣壓之間的氣壓。

6）6mm氣體接口,。

6,、真空系統(tǒng)

1）KF25法蘭接口用來連接真空泵。

2）真空要求：抽速：>1.7m3/h；

3）低氣壓：<=200mTorr.