二,、美國PIE等離子清洗機(jī)的特點(diǎn)

1,、13.56MHz高頻射頻發(fā)生器；

2,、7英寸觸摸屏控制界面,，全自動操作；

3,、標(biāo)配75W版本,，可選150W版本；

4,、系統(tǒng)具有雙等離子源,。浸入式等離子源用于主動表面處理、光刻膠蝕刻,。遠(yuǎn)程式等離子源用于溫和的污染清除以及脆弱易損樣品的表面活化,。

三、美國PIE等離子清洗機(jī)技術(shù)參數(shù)

1,、控制系統(tǒng)

1）操作界面：7英寸電阻觸摸屏操作界面,，支持多種工作方式,。

2）程序控制：可編程，總共有20個程序,，每個程序有3個清潔步驟,。

2、反應(yīng)腔體

1）腔體材質(zhì)：圓柱形石英玻璃艙,；

2）腔體容積：2.6L；

3）腔體尺寸：內(nèi)徑：110毫米,，深度：280毫米,。

3、射頻電源

1）射頻頻率：13.56MHz,；

2）射頻功率：標(biāo)配0~75W,；從0瓦到75瓦之間以1瓦間距連續(xù)可調(diào)，可選0~150W,；,。

4、等離子源

1）等離子強(qiáng)度探測器實(shí)時測量等離子源強(qiáng)度,。

2）外置電極設(shè)計(jì),，高壓電極不合等離子接觸以避免金屬濺射造成的樣品污染。

5,、氣體控制

1）氣路控制：標(biāo)配一路MFC,；可選配三路MFC；

2）質(zhì)量流量計(jì)可以在0~100sccm之間準(zhǔn)確控制氣體流量,；

3）一路(Venting and purging)氣體入口用來快速給樣品室放氣和沖走殘余處理氣體,。