二、Tergeo系列等離子清洗機(jī)的特點(diǎn)

1,、13.56MHz高頻射頻發(fā)生器,；

2、7英寸觸摸屏控制界面,，全自動(dòng)操作,；

3、標(biāo)配75W版本,，可選150W版本,；

4、系統(tǒng)具有雙等離子源,。浸入式等離子源用于主動(dòng)表面處理,、光刻膠蝕刻。遠(yuǎn)程式等離子源用于溫和的污染清除以及脆弱易損樣品的表面活化,。

三,、技術(shù)參數(shù)

1、控制系統(tǒng)

1）操作界面：7英寸電阻觸摸屏操作界面,，支持多種工作方式,。

2）程序控制：可編程，總共有20個(gè)程序,，每個(gè)程序有3個(gè)清潔步驟,。

2,、反應(yīng)腔體

1）腔體材質(zhì)：圓柱形石英玻璃艙；

2）腔體容積：5.6L,；

3）腔體尺寸：內(nèi)徑：160毫米,，深度：280毫米。

3,、射頻電源

1）射頻頻率：13.56MHz,；

2）射頻功率：標(biāo)配0~75W；從0瓦到75瓦之間以1瓦間距連續(xù)可調(diào),，可選0~150W,；。

4,、等離子源

1）等離子強(qiáng)度探測(cè)器實(shí)時(shí)測(cè)量等離子源強(qiáng)度,。

2）外置電極設(shè)計(jì)，高壓電極不合等離子接觸以避免金屬濺射造成的樣品污染,。

5,、氣體控制

1）氣路控制：標(biāo)配一路MFC；可選配三路MFC,；

2）質(zhì)量流量計(jì)可以在0~100sccm之間準(zhǔn)確控制氣體流量,；

3）一路(Venting and purging)氣體入口用來快速給樣品室放氣和沖走殘余處理氣體。