ZYGO ZEGAGE光學(xué)輪廓儀
- 公司名稱 篤摯儀器(上海)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2020/10/14 13:31:15
- 訪問次數(shù) 3187
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品種類 | 非接觸式輪廓儀/粗糙度儀 |
---|---|---|---|
價格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,交通,冶金,航天,汽車 |
ZYGO ZEGAGE光學(xué)輪廓儀
ZeGage™光學(xué)輪廓儀是用于3D形貌定量測試,,和精密機(jī)械表面粗糙度檢測的理想非接觸式檢測工具。它工業(yè)化的設(shè)計(jì)提供快速,,準(zhǔn)確的測量方案,,并且外形緊湊、性價比高,,能夠放在生產(chǎn)車間工作,,而不需要振動隔離和特殊的隔離裝置。同時交互式的控制軟件MxTM提供了簡單而精細(xì)的圖形圖像來幫助你的加工處理,。如需獲取更多的信息,,了解Zegage系統(tǒng)的能力、功能和價值請繼續(xù)往下看,。
關(guān)鍵特點(diǎn)
• 抗震性能,,適合于生產(chǎn)車間的計(jì)量檢測和過程控制。
• 所有參數(shù)遵照ISO 25178標(biāo)準(zhǔn),,保證計(jì)量結(jié)果的可性度,。
• 非接觸式計(jì)量技術(shù)不會引起任何待測件的損傷。
• 計(jì)算機(jī)控制的4位物鏡轉(zhuǎn)臺,。
• 基于區(qū)域的測量,,對待測件如何放置不敏感。
• 測量無需任何耗材,。
生產(chǎn)車間里,正在使用的ZeGage光學(xué)輪廓儀
系統(tǒng)參數(shù):
◆原理 非接觸,、三維白光掃描干涉儀
◆掃描裝置: 長范圍 Z 軸調(diào)節(jié)
◆物鏡: 無限共軛干涉物鏡:標(biāo)準(zhǔn)工作距離2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x,;長工作距離:1x, 2x, 5x, 10x,詳見物鏡參數(shù)表
◆視場: 跟所選物鏡有關(guān)
◆光源: 長壽命白光 LED,計(jì)算機(jī)控制光強(qiáng)
◆物鏡座: 螺紋物鏡座(標(biāo)準(zhǔn));
◆選件: 可快速裝卸單物鏡夾具(可選),;電控或手動 4 位物鏡塔臺(可選),。
◆輔助聚焦: 軟件控制輔助聚焦
◆測量陣列: 1024×1024
◆樣件觀察: 軟件集成交互式實(shí)時觀察
◆Z 軸: 100mm 行程,主機(jī)頭具有兩種可選安裝高度,,以優(yōu)化工作距離
◆樣品臺控制: USB 控制器,,人體工程學(xué)設(shè)計(jì)的拇指控制按鈕,可控制速度和聚焦模式切換
◆安全性: 系統(tǒng)集成緊急制動功能
◆樣品臺: 手動,俯仰傾斜±4°; 手動XY平移50x100mm; 集成T型槽板利于固定附件
◆計(jì)算機(jī): 高性能DELL計(jì)算機(jī), 寬屏1080P LCD,,64位,Windows 7系統(tǒng)
◆軟件: ZeMapsTM
◆尺寸(HWD): 系統(tǒng):156×127×76cm; 工作桌:74x127x76cm; ZeGage 主機(jī):82x53x53cm
◆重量: ZeGage 主機(jī):54Kg; 工作臺:37Kg
性能:
◆縱向掃描范圍:≤ 20 mm,,(受限于物鏡工作距離)
◆表面形貌重復(fù)性:<3nm(根據(jù) ISO/DIS 25178 604 部,,附件 D)
◆光學(xué)分辨率(橫向):0.52um ~9.50um,與所選物鏡有關(guān)
◆掃描速度: ≤ 23 um/秒
◆大數(shù)據(jù)點(diǎn): 1,048,576
◆臺階測量: 準(zhǔn)確度 ≤ 1%,; 重復(fù)性≤ 0.1% @ 1σ
被測樣品特性:
◆材料: 各種材料的表面:透明,,不透明,鍍膜,,非鍍膜,,反射,弱反射
◆反射率:1-100%
環(huán)境要求:
◆溫度: 15-30℃
◆溫度變化率: <1.0°C/15分鐘
◆濕度: 相對濕度 5%-95%,,無凝結(jié)
◆隔振: 不需要
◆振動準(zhǔn)則: VC-C 或有更好的推薦