Twyman-Green型干涉（泰曼-格林干涉）的測量原理基于光的干涉現(xiàn)象,，特別是相干光的疊加原理,。以下是對其測量原理的詳細(xì)解釋：

一,、基本原理

當(dāng)兩束相干光波在空間某點相遇時,，它們會相互疊加并產(chǎn)生干涉現(xiàn)象,。干涉圖樣的特點是明暗相間的干涉條紋,，這些條紋的間距和強度取決于光的波長和光束之間的相位差,。

二,、干涉儀結(jié)構(gòu)

泰曼-格林干涉儀通常由以下主要部分組成：

光源：一般采用單色光源,，如激光，以確保發(fā)出的光是單色光,，從而進(jìn)行精確的波長測量和干涉圖樣觀察,。

分束器：是干涉儀的核心部件之一，用于將入射光束分為兩束相干光束,。分束器通常采用半透半反鏡或雙折射晶體制成,。

參考臂和測量臂：被分束器分開的兩束相干光束分別進(jìn)入?yún)⒖急酆蜏y量臂。參考臂通常包含一段已知的路徑長度,，用于提供穩(wěn)定的參考光波,；測量臂則與被測物體相互作用，其光程長度會發(fā)生變化,，這是由于被測物體對光的折射,、衍射或散射作用造成的。

檢測器：用于檢測干涉圖樣,，并將干涉信號轉(zhuǎn)化為電信號輸出,，以便進(jìn)行后續(xù)的數(shù)據(jù)處理和分析。

三,、測量原理

相位差與干涉圖樣：當(dāng)兩束光在干涉點相遇時,，如果它們的相位差是波長的整數(shù)倍，則會產(chǎn)生加強干涉,，表現(xiàn)為亮條紋,；如果相位差是半波長的奇數(shù)倍，則會產(chǎn)生削弱干涉,，表現(xiàn)為暗條紋,。通過觀察干涉圖樣，可以分析被測物體的特性,，如折射率,、厚度等。

測量過程：在測量過程中,，激光首先經(jīng)過分束器分成兩束光線,，一束光線經(jīng)過參考鏡反射后再次回到分束器,，另一束光線則經(jīng)過被測物體后也回到分束器。當(dāng)兩束光線再次相遇時,，它們會發(fā)生干涉現(xiàn)象,，并在檢測器上形成干涉圖樣。通過處理和分析干涉圖樣中的明暗條紋及其變化,，可以計算出被測物體的表面形貌,、薄膜厚度等參數(shù)。

四,、應(yīng)用

泰曼-格林干涉儀在科學(xué)研究,、工業(yè)制造和質(zhì)量控制等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用價值。例如,，在科學(xué)研究中,，它可用于研究物體表面形貌的微小變化，如微米級別的表面粗糙度,、納米級別的表面平整度等,；在工業(yè)制造領(lǐng)域，它可用于薄膜厚度的測量,，如光學(xué)薄膜,、電鍍薄膜等；在質(zhì)量控制方面,，它可用于產(chǎn)品的檢測和評估,，如電子元件的制造、光學(xué)元件的加工等,。

綜上所述,，Twyman-Green型干涉（泰曼-格林干涉）的測量原理基于光的干涉現(xiàn)象和相干光的疊加原理。通過分析和處理干涉圖樣中的明暗條紋及其變化,，可以實現(xiàn)對被測物體表面形貌,、薄膜厚度等參數(shù)的精確測量。

TopMap Micro View白光干涉3D輪廓儀

一款可以“實時”動態(tài)/靜態(tài) 微納級3D輪廓測量的白光干涉儀

1)一改傳統(tǒng)白光干涉操作復(fù)雜的問題,，實現(xiàn)一鍵智能聚焦掃描,，亞納米精度下實現(xiàn)優(yōu)秀的重復(fù)性表現(xiàn)。

2)系統(tǒng)集成CST連續(xù)掃描技術(shù),，Z向測量范圍高達(dá)100mm,，不受物鏡放大倍率的影響的高精度垂直分辨率，為復(fù)雜形貌測量提供全面解決方案,。

3）可搭載多普勒激光測振系統(tǒng),，實現(xiàn)實現(xiàn)“動態(tài)”3D輪廓測量。

實際案例

1,，優(yōu)于1nm分辨率,，輕松測量硅片表面粗糙度測量,，Ra=0.7nm

2，毫米級視野,，實現(xiàn)5nm-有機油膜厚度掃描

3,，優(yōu)秀的“高深寬比”測量能力，實現(xiàn)光刻圖形凹槽深度和開口寬度測量,。