SuperViewW中圖儀器光學(xué)三維輪廓儀系統(tǒng)以白光干涉技術(shù)為原理,、結(jié)合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等，可測各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度,、微觀幾何輪廓,、曲率等。

SuperViewW中圖儀器光學(xué)三維輪廓儀系統(tǒng)具有測量精度高,、操作便捷,、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點,，測量單個精細(xì)器件的過程用時短,，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式,，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量,。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測,、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工,、微納材料及制造,、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領(lǐng)域中,。

產(chǎn)品功能

1)樣件測量能力：單一掃描模式即可滿足從超光滑到粗糙、鏡面到全透明或黑色材質(zhì)等所有類型樣件表面的測量,；

2)單區(qū)域自動測量：單片平面樣品或批量樣品切換測量點位時,，可一鍵實現(xiàn)自動條紋搜索、掃描等功能,；

3)多區(qū)域自動測量：可設(shè)置方形或圓形的陣列形式的多區(qū)域測量點位,，一鍵實現(xiàn)自動條紋搜索、掃描等功能,；

4)自動拼接測量,；支持方形、圓形,、環(huán)形和螺旋形式的自動拼接測量功能，配合影像導(dǎo)航功能,，可自定義測量區(qū)域,，支持?jǐn)?shù)千張圖像的無縫拼接測量；

5)編程測量功能：支持測量和分析同界面操作的軟件模塊,，可預(yù)先配置數(shù)據(jù)處理和分析步驟,，結(jié)合自動單測量功能，實現(xiàn)一鍵測量,；

6)數(shù)據(jù)處理功能：提供位置調(diào)整,、去噪、濾波,、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

7)數(shù)據(jù)分析功能：提供粗糙度分析、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析、功能分析等五大分析功能,。

8)批量分析功能：可根據(jù)需求參數(shù)定制數(shù)據(jù)處理和分析模板,，針對同類型參數(shù)實現(xiàn)一鍵批量分析；

9)數(shù)據(jù)報表導(dǎo)出：支持word,、excel,、pdf格式的數(shù)據(jù)報表導(dǎo)出功能,，支持圖像、數(shù)值結(jié)果的導(dǎo)出,；

10)故障排查功能：配置診斷模塊,，可保存掃描過程中的干涉條紋圖像；

11)便捷操作功能：設(shè)備配備操縱桿,，支持操縱桿進(jìn)行所有位置軸的操作及速度調(diào)節(jié),、光源亮度調(diào)節(jié)、急停等,；

12)環(huán)境噪聲評價：具備0.1nm分辨率的環(huán)境噪聲評價功能,，定量檢測出儀器受到外界環(huán)境干擾的噪聲振幅和頻率，為設(shè)備調(diào)試和故障排查提供定量依據(jù),；

13)氣浮隔振功能：采用氣浮式隔振底座,，可有效隔離地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動噪聲，確保測量數(shù)據(jù)的高精度,；

14)光源安全功能：光源設(shè)置無人值守下的自動熄燈功能,，當(dāng)檢測到鼠標(biāo)軌跡長時間未變動后會自主降低熄滅光源，防止光源高亮過熱損壞,，并有效延長光源使用壽命,；

15)鏡頭安全功能：雙重防撞保護(hù)，軟件ZSTOP防撞保護(hù),，設(shè)置后即以當(dāng)前位置為位移下限位,，不再下移且伴有報警聲；設(shè)備配備壓力傳感器,，并在鏡頭處進(jìn)行了彈簧結(jié)構(gòu)設(shè)計,，確保當(dāng)鏡頭碰撞后彈性回縮，進(jìn)入急停狀態(tài),，大幅減小碰撞沖擊力,，有效保護(hù)鏡頭和掃描軸，消除人為操作的安全風(fēng)險,。

產(chǎn)品特點

1,、干涉物鏡

不通倍率的鏡頭，適應(yīng)于從超光滑到粗糙度各種表面類型的樣品,。

2,、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

外接氣源和加壓裝置直接充氣的雙通道氣浮隔振系統(tǒng)，可有效隔離地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動噪聲,。

3,、聲波隔振防護(hù)

儀器外殼與內(nèi)部運動機構(gòu)采用了分離式設(shè)計，有效隔離了聲波振動的傳導(dǎo),。

4,、水平調(diào)整裝置

傾斜調(diào)整旋鈕,，調(diào)整條紋寬度，提高3D圖像的重建精度,。

5,、便攜式操縱桿

采用人體工程學(xué)設(shè)計，集成了XYZ三軸位移和速度,、光源亮度的自動控制,，并配有緊急停止按鈕。

6,、真空吸附臺

專為半導(dǎo)體晶圓片定制的真空吸附臺,，確保樣品在測量過程中不受空氣中微弱氣流擾動的影像。

7,、3D重建算法

自動濾除樣品表面噪點,，在硬件系統(tǒng)的配合下，測量精度可達(dá)亞納米級別,。

自研3D顯微測量軟件平臺Xtremevision Pro

Xtremevision Pro

全自主開發(fā)的第二代顯微3D測量軟件平臺,，集成了圖像掃描、3D分析,、影像測量,、自動化測量等四個大的功能模塊，能夠適配中圖W系列,、VT系列,、WT系列所有3D儀器機型，可自主識別機型種類,，二合一機型可在白光干涉和共聚焦顯微鏡中做到自動切換掃描模式。

Xtremevision Pro 移植了中圖在影像閃測領(lǐng)域的成功經(jīng)驗,，重構(gòu)了顯微影像測量功能,，可針對微觀平面輪廓尺寸的點、線間的距離,、角度,、半徑等參數(shù)進(jìn)行直接測量和自動匹配測量。

自動化mark點識別坐標(biāo)定位自動化功能

Mark點影像識別自動坐標(biāo)位置校正,，多區(qū)域坐標(biāo)點自動定位測量與分析,，可組合式完成粗糙度、輪廓尺寸的批量自動化測量,。

自動拼接功能

支持方形,、圓形、環(huán)形和螺旋形式的自動拼接測量功能,，配合影像導(dǎo)航功能,，可自定義測量區(qū)域,，支持?jǐn)?shù)千張圖像的無縫拼接測量。

應(yīng)用領(lǐng)域圖片

對各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的粗糙度,、波紋度、面形輪廓,、表面缺陷,、磨損情況、腐蝕情況,、孔隙間隙,、臺階高度、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析,。

部分技術(shù)指標(biāo)

懇請注意：因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改,，恕不另行通知,，不便之處敬請諒解。

如有疑問或需要更多詳細(xì)信息,，請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢,。