中圖儀器SuperViewW國產(chǎn)光學(xué)輪廓儀設(shè)備基于白光干涉原理，以3D非接觸方式,，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,。在半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學(xué)加工,、微納材料及制造、汽車零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領(lǐng)域中，可測各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度,、平整度、微觀幾何輪廓,、曲率等,。

產(chǎn)品功能

1)樣件測量能力：單一掃描模式即可滿足從超光滑到粗糙、鏡面到全透明或黑色材質(zhì)等所有類型樣件表面的測量,；

2)單區(qū)域自動(dòng)測量：單片平面樣品或批量樣品切換測量點(diǎn)位時(shí),，可一鍵實(shí)現(xiàn)自動(dòng)條紋搜索、掃描等功能,；

3)多區(qū)域自動(dòng)測量：可設(shè)置方形或圓形的陣列形式的多區(qū)域測量點(diǎn)位,，一鍵實(shí)現(xiàn)自動(dòng)條紋搜索、掃描等功能,；

4)自動(dòng)拼接測量,；支持方形、圓形,、環(huán)形和螺旋形式的自動(dòng)拼接測量功能,，配合影像導(dǎo)航功能，可自定義測量區(qū)域,，支持?jǐn)?shù)千張圖像的無縫拼接測量,；

5)編程測量功能：支持測量和分析同界面操作的軟件模塊，可預(yù)先配置數(shù)據(jù)處理和分析步驟,，結(jié)合自動(dòng)單測量功能,，實(shí)現(xiàn)一鍵測量；

6)數(shù)據(jù)處理功能：提供位置調(diào)整,、去噪,、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

7)數(shù)據(jù)分析功能：提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析,、功能分析等五大分析功能。

8)批量分析功能：可根據(jù)需求參數(shù)定制數(shù)據(jù)處理和分析模板,，針對(duì)同類型參數(shù)實(shí)現(xiàn)一鍵批量分析,；

9)數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出：支持word、excel,、pdf格式的數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能,，支持圖像、數(shù)值結(jié)果的導(dǎo)出；

10)故障排查功能：配置診斷模塊,，可保存掃描過程中的干涉條紋圖像,；

11)便捷操作功能：設(shè)備配備操縱桿，支持操縱桿進(jìn)行所有位置軸的操作及速度調(diào)節(jié),、光源亮度調(diào)節(jié),、急停等；

12)環(huán)境噪聲評(píng)價(jià)：具備0.1nm分辨率的環(huán)境噪聲評(píng)價(jià)功能,，定量檢測出儀器受到外界環(huán)境干擾的噪聲振幅和頻率,，為設(shè)備調(diào)試和故障排查提供定量依據(jù)；

13)氣浮隔振功能：采用氣浮式隔振底座,，可有效隔離地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動(dòng)噪聲,，確保測量數(shù)據(jù)的高精度；

14)光源安全功能：光源設(shè)置無人值守下的自動(dòng)熄燈功能,，當(dāng)檢測到鼠標(biāo)軌跡長時(shí)間未變動(dòng)后會(huì)自主降低熄滅光源,，防止光源高亮過熱損壞，并有效延長光源使用壽命,；

15)鏡頭安全功能：雙重防撞保護(hù),，軟件ZSTOP防撞保護(hù)，設(shè)置后即以當(dāng)前位置為位移下限位,，不再下移且伴有報(bào)警聲；設(shè)備配備壓力傳感器,，并在鏡頭處進(jìn)行了彈簧結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),，確保當(dāng)鏡頭碰撞后彈性回縮，進(jìn)入急停狀態(tài),，大幅減小碰撞沖擊力,，有效保護(hù)鏡頭和掃描軸，消除人為操作的安全風(fēng)險(xiǎn),。

自研3D顯微測量軟件平臺(tái)Xtremevision Pro

Xtremevision Pro

全自主開發(fā)的第二代顯微3D測量軟件平臺(tái),，集成了圖像掃描、3D分析,、影像測量,、自動(dòng)化測量等四個(gè)大的功能模塊，能夠適配中圖W系列,、VT系列,、WT系列所有3D儀器機(jī)型，可自主識(shí)別機(jī)型種類,，二合一機(jī)型可在白光干涉和共聚焦顯微鏡中做到自動(dòng)切換掃描模式,。

Xtremevision Pro 移植了中圖在影像閃測領(lǐng)域的成功經(jīng)驗(yàn)，重構(gòu)了顯微影像測量功能，可針對(duì)微觀平面輪廓尺寸的點(diǎn),、線間的距離,、角度、半徑等參數(shù)進(jìn)行直接測量和自動(dòng)匹配測量,。

自動(dòng)化mark點(diǎn)識(shí)別坐標(biāo)定位自動(dòng)化功能

Mark點(diǎn)影像識(shí)別自動(dòng)坐標(biāo)位置校正,，多區(qū)域坐標(biāo)點(diǎn)自動(dòng)定位測量與分析，可組合式完成粗糙度,、輪廓尺寸的批量自動(dòng)化測量,。

自動(dòng)拼接功能

支持方形、圓形,、環(huán)形和螺旋形式的自動(dòng)拼接測量功能,，配合影像導(dǎo)航功能，可自定義測量區(qū)域,，支持?jǐn)?shù)千張圖像的無縫拼接測量,。

應(yīng)用領(lǐng)域圖片

對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的粗糙度,、波紋度,、面形輪廓、表面缺陷,、磨損情況,、腐蝕情況、孔隙間隙,、臺(tái)階高度,、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析,。

SuperViewW國產(chǎn)光學(xué)輪廓儀設(shè)備具有測量精度高,、操作便捷、功能齊全,、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn),，測量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)短，確保了高款率檢測,。白光干涉儀的特殊光源模式,，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。

部分技術(shù)指標(biāo)

懇請(qǐng)注意：因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改,，恕不另行通知，不便之處敬請(qǐng)諒解,。

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