中圖儀器SuperViewW光學三維形貌輪廓儀是用于樣品表面微觀形貌檢測的精密儀器。它以白光干涉技術為原理,、結合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析,，并獲取反映器件表面質量的2D,、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量,。

SuperViewW光學3D輪廓儀可以達到納米級的檢測精度,，以3D非接觸方式快速獲得被測工件表面三維形貌和數(shù)據(jù)。典型結果包括：

表面形貌（粗糙度,，平面度,，平行度，臺階高度,，錐角等等）,；

幾何特征（關鍵孔徑尺寸,，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和體積,，特征圖形的位置和數(shù)量等等）,；

產(chǎn)品功能

1)樣件測量能力：單一掃描模式即可滿足從超光滑到粗糙、鏡面到全透明或黑色材質等所有類型樣件表面的測量,；

2)單區(qū)域自動測量：單片平面樣品或批量樣品切換測量點位時,，可一鍵實現(xiàn)自動條紋搜索、掃描等功能,；

3)多區(qū)域自動測量：可設置方形或圓形的陣列形式的多區(qū)域測量點位,，一鍵實現(xiàn)自動條紋搜索、掃描等功能,；

4)自動拼接測量；支持方形,、圓形,、環(huán)形和螺旋形式的自動拼接測量功能，配合影像導航功能,，可自定義測量區(qū)域,，支持數(shù)千張圖像的無縫拼接測量；

5)編程測量功能：支持測量和分析同界面操作的軟件模塊,，可預先配置數(shù)據(jù)處理和分析步驟,，結合自動單測量功能，實現(xiàn)一鍵測量,；

6)數(shù)據(jù)處理功能：提供位置調整,、去噪、濾波,、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

7)數(shù)據(jù)分析功能：提供粗糙度分析、幾何輪廓分析,、結構分析,、頻率分析、功能分析等五大分析功能,。

8)批量分析功能：可根據(jù)需求參數(shù)定制數(shù)據(jù)處理和分析模板,，針對同類型參數(shù)實現(xiàn)一鍵批量分析；

9)數(shù)據(jù)報表導出：支持word,、excel,、pdf格式的數(shù)據(jù)報表導出功能，支持圖像,、數(shù)值結果的導出,；

10)故障排查功能：配置診斷模塊，可保存掃描過程中的干涉條紋圖像；

11)便捷操作功能：設備配備操縱桿,，支持操縱桿進行所有位置軸的操作及速度調節(jié),、光源亮度調節(jié)、急停等,；

12)環(huán)境噪聲評價：具備0.1nm分辨率的環(huán)境噪聲評價功能,，定量檢測出儀器受到外界環(huán)境干擾的噪聲振幅和頻率，為設備調試和故障排查提供定量依據(jù),；

13)氣浮隔振功能：采用氣浮式隔振底座,，可有效隔離地面?zhèn)鲗У恼駝釉肼暎_保測量數(shù)據(jù)的高精度,；

14)光源安全功能：光源設置無人值守下的自動熄燈功能,，當檢測到鼠標軌跡長時間未變動后會自主降低熄滅光源，防止光源高亮過熱損壞,，并有效延長光源使用壽命,；

15)鏡頭安全功能：雙重防撞保護，軟件ZSTOP防撞保護,，設置后即以當前位置為位移下限位,，不再下移且伴有報警聲；設備配備壓力傳感器,，并在鏡頭處進行了彈簧結構設計,，確保當鏡頭碰撞后彈性回縮，進入急停狀態(tài),，大幅減小碰撞沖擊力,，有效保護鏡頭和掃描軸，消除人為操作的安全風險,。

SuperViewW光學三維形貌輪廓儀具有測量精度高,、操作便捷、功能齊全,、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點,，測量單個精細器件的過程用時短，確保了高款率檢測,。白光干涉儀的特殊光源模式,，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

應用領域圖片

對各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的粗糙度,、波紋度、面形輪廓,、表面缺陷,、磨損情況,、腐蝕情況、孔隙間隙,、臺階高度,、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析,。

部分技術指標

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