引言

碳化硅（SiC）作為新一代半導(dǎo)體材料,，因其出色的物理和化學(xué)特性，在功率電子,、高頻通信,、高溫環(huán)境等領(lǐng)域展現(xiàn)出巨大的應(yīng)用潛力,。然而，在SiC外延片的制備過程中,，翹曲度問題一直是影響外延片質(zhì)量和后續(xù)器件性能的關(guān)鍵因素之一,。翹曲度不僅影響外延片的平整度，還可能對(duì)器件的封裝,、互聯(lián)和可靠性產(chǎn)生嚴(yán)重影響,。因此，矯正碳化硅外延片的翹曲度顯得尤為重要,。本文將介紹幾種有效的矯正碳化硅外延片翹曲度的方法,，旨在提高外延片的平整度，提升器件的性能和可靠性,。

方法一：減薄與拋光法

減薄與拋光法是一種常用的矯正碳化硅外延片翹曲度的方法,。該方法通過減薄外延片的厚度，并結(jié)合拋光處理,，來改善外延片的平整度,。

減薄處理

將碳化硅外延片的保護(hù)膜一面貼合在減薄機(jī)的多孔陶瓷吸附臺(tái)上，利用真空吸附技術(shù)固定外延片,。

使用8000～30000目的金剛石砂輪對(duì)外延片的碳面進(jìn)行減薄處理,，減薄量通常在2～5微米之間。減薄過程中，金剛石砂輪高速旋轉(zhuǎn),，以實(shí)現(xiàn)快速切削,。

拋光處理

將減薄后的碳化硅外延片貼附于化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備上。

根據(jù)減薄后的外延片翹曲度大小,，使用0.1～1微米的多晶金剛石粉研磨液,，在100g～300g/cm2的加壓下進(jìn)行拋光處理，拋光時(shí)間通常為5～60分鐘,。

拋光后,，使用全自動(dòng)雙面刷洗機(jī)對(duì)外延片進(jìn)行兩面沖刷，以去除殘留的研磨液和雜質(zhì),。沖刷過程中,，使用尼龍毛刷和二流體（如純水和氮?dú)猓┻M(jìn)行反復(fù)沖刷，確保外延片表面的清潔度,。

后續(xù)處理

使用保護(hù)膜能量照射外延片,，然后揭掉保護(hù)膜，完成整個(gè)矯正過程,。

該方法在矯正碳化硅外延片翹曲度的同時(shí),，能夠保持外延片的性質(zhì)不受影響，減薄量較少,，且對(duì)后續(xù)器件的性能無負(fù)面影響,。

方法二：高溫?zé)崽幚矸?/p>

高溫?zé)崽幚矸ㄊ橇硪环N有效的矯正碳化硅外延片翹曲度的方法。該方法通過高溫?zé)崽幚?，使外延片材料發(fā)生塑性變形,，從而改善其平整度。

清洗處理

對(duì)翹曲的碳化硅外延片表面進(jìn)行清洗,，去除表面的塵埃,、油脂和其他污染物。

選擇托盤

根據(jù)外延生長所需的碳化硅襯底的不同翹曲度及翹曲趨勢要求,，選擇具有相對(duì)應(yīng)支撐面的托盤,。

高溫?zé)崽幚?/p>

將托盤及其支撐的碳化硅外延片放入高溫?zé)崽幚碓O(shè)備中，升溫至400℃～1700℃,，進(jìn)行熱處理,。熱處理時(shí)間通常在60分鐘以內(nèi)。

在高溫下,，碳化硅外延片材料變軟,，未受托盤支撐的部位在重力作用下下墜，從而實(shí)現(xiàn)翹曲度的矯正,。

后續(xù)處理

對(duì)熱處理后的碳化硅外延片再次進(jìn)行清洗,，去除表面的殘留物和雜質(zhì),。

該方法在外延生長之前先對(duì)碳化硅外延片的翹曲進(jìn)行矯正，能夠提高來料的良率,，降低制造成本,，并保證后續(xù)外延生長的厚度趨勢的一致性。

方法三：機(jī)械應(yīng)力與退火處理法

機(jī)械應(yīng)力與退火處理法是一種創(chuàng)新的矯正碳化硅外延片翹曲度的方法,。該方法通過施加機(jī)械應(yīng)力并結(jié)合退火處理，使外延片材料發(fā)生塑性變形和晶格重排,，從而改善其平整度,。

研磨拋光

對(duì)碳化硅外延片進(jìn)行研磨拋光處理，以去除表面的粗糙層和缺陷,。

施加機(jī)械應(yīng)力

在研磨拋光后的碳化硅外延片上施加機(jī)械應(yīng)力,，使其產(chǎn)生向平整度減小方向的變形。機(jī)械應(yīng)力的大小應(yīng)根據(jù)外延片的翹曲度和期望的平整度進(jìn)行調(diào)整,。

退火處理

將施加機(jī)械應(yīng)力后的碳化硅外延片加熱到足夠高的溫度,，進(jìn)行退火處理。退火過程中,，外延片的晶格發(fā)生滑移和重排,，從而將變形保留下來，實(shí)現(xiàn)翹曲度的矯正,。

后續(xù)處理

對(duì)退火處理后的碳化硅外延片進(jìn)行清洗和檢測,，確保其表面質(zhì)量和翹曲度滿足要求。

該方法通過精確控制機(jī)械應(yīng)力和退火處理?xiàng)l件,，能夠?qū)崿F(xiàn)碳化硅外延片翹曲度的精確矯正,，同時(shí)保持外延片的性能和可靠性。

結(jié)論

矯正碳化硅外延片的翹曲度是提高其質(zhì)量和后續(xù)器件性能的關(guān)鍵步驟,。本文介紹了減薄與拋光法,、高溫?zé)崽幚矸ê蜋C(jī)械應(yīng)力與退火處理法三種有效的矯正方法。每種方法都有其優(yōu)勢和適用范圍,，可以根據(jù)具體的生產(chǎn)需求和工藝條件進(jìn)行選擇,。通過采用這些方法，可以顯著提高碳化硅外延片的平整度,，為制造高性能,、高可靠性的SiC器件提供有力支持。未來,，隨著SiC半導(dǎo)體材料技術(shù)的不斷發(fā)展,，矯正碳化硅外延片翹曲度的方法也將不斷優(yōu)化和創(chuàng)新，為SiC器件的廣泛應(yīng)用奠定堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ),。

高通量晶圓測厚系統(tǒng)

高通量晶圓測厚系統(tǒng)以光學(xué)相干層析成像原理,，可解決晶圓/晶片厚度TTV（Total Thickness Variation,，總厚度偏差）、BOW（彎曲度）,、WARP（翹曲度）,，TIR（Total Indicated Reading 總指示讀數(shù)，STIR（Site Total Indicated Reading 局部總指示讀數(shù)）,，LTV（Local Thickness Variation 局部厚度偏差）等這類技術(shù)指標(biāo),。

高通量晶圓測厚系統(tǒng)，全新采用的第三代可調(diào)諧掃頻激光技術(shù),，相比傳統(tǒng)上下雙探頭對(duì)射掃描方式,；可一次性測量所有平面度及厚度參數(shù)。

1,，靈活適用更復(fù)雜的材料,，從輕摻到重?fù)?P 型硅 (P++)，碳化硅,，藍(lán)寶石,，玻璃，鈮酸鋰等晶圓材料,。

重?fù)叫凸瑁◤?qiáng)吸收晶圓的前后表面探測）

粗糙的晶圓表面,，（點(diǎn)掃描的第三代掃頻激光，相比靠光譜探測方案,，不易受到光譜中相鄰單位的串?dāng)_噪聲影響,，因而對(duì)測量粗糙表面晶圓）

低反射的碳化硅(SiC)和鈮酸鋰(LiNbO3)；（通過對(duì)偏振效應(yīng)的補(bǔ)償,，加強(qiáng)對(duì)低反射晶圓表面測量的信噪比）

絕緣體上硅（SOI)和MEMS,，可同時(shí)測量多層結(jié)構(gòu)，厚度可從μm級(jí)到數(shù)百μm級(jí)不等,。 

可用于測量各類薄膜厚度,，厚度可低至4μm ，精度可達(dá)1nm,。

2,，可調(diào)諧掃頻激光的“溫漂”處理能力，體現(xiàn)在復(fù)雜工作環(huán)境中抗干擾能力強(qiáng),，充分提高重復(fù)性測量能力,。

3，采用第三代高速掃頻可調(diào)諧激光器,，一改過去傳統(tǒng)SLD寬頻低相干光源的干涉模式,，解決了由于相干長度短，而重度依賴“主動(dòng)式減震平臺(tái)”的情況,。優(yōu)秀的抗干擾,，實(shí)現(xiàn)小型化設(shè)計(jì),，同時(shí)也可兼容匹配EFEM系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)產(chǎn)線自動(dòng)化集成測量。

4,，靈活的運(yùn)動(dòng)控制方式,，可兼容2英寸到12英寸方片和圓片測量。