手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號(hào)：chem17
掃碼關(guān)注視頻號(hào)
等離子清洗機(jī)的使用細(xì)節(jié)需結(jié)合設(shè)備原理,、操作規(guī)范及安全要求展開，以下從使用前準(zhǔn)備,、操作步驟,、參數(shù)設(shè)置,、安全注意事項(xiàng)及維護(hù)等方面進(jìn)行詳細(xì)闡述：
一、使用前準(zhǔn)備
1. 設(shè)備檢查
- 確認(rèn)電源連接正常,，接地良好,，避免觸電風(fēng)險(xiǎn)。
- 檢查清洗室密封性,，確保無(wú)漏氣現(xiàn)象,；清理內(nèi)部殘留雜物，保持潔凈,。
- 檢查工作氣體(如氬氣,、氧氣)供氣系統(tǒng)，確保氣壓充足,、管路暢通,。
2. 工件處理
- 待清洗工件需固定穩(wěn)妥，避免相互碰撞或接觸電極,。
- 根據(jù)污染物類型選擇適配氣體(如氬氣用于表面活化,，氧氣用于有機(jī)污染物去除)。
3. 參數(shù)預(yù)設(shè)
- 參考設(shè)備默認(rèn)參數(shù)(如功率50W-150W,，氣體流量20sccm,，清洗時(shí)間200s)。
- 初次使用或特殊材料需進(jìn)行小范圍測(cè)試,，避免過(guò)度清洗導(dǎo)致材料損傷,。
二、操作步驟
1. 開機(jī)與啟動(dòng)
- 依次打開設(shè)備后部總電源,、面板藍(lán)色電源鍵,。
- 啟動(dòng)真空泵，手動(dòng)按壓腔門確保密封,，觀察腔內(nèi)氣壓是否達(dá)50-100Pa正常范圍,。
- 調(diào)節(jié)氣體流量旋鈕(A通道)至20sccm，保持穩(wěn)定進(jìn)氣,。
2. 參數(shù)調(diào)整
- 匹配調(diào)諧：先調(diào)節(jié)TUNE旋鈕使左屏顯示設(shè)定功率,，再調(diào)LOAD旋鈕使右屏示數(shù)至15Wr，最終微調(diào)TUNE使反射功率(右上角)接近0%,。
- 功率與時(shí)間：按需求設(shè)定清洗功率(建議≤150W)和時(shí)間(常規(guī)200s,，特殊材料可延長(zhǎng)至10分鐘)。
3. 清洗過(guò)程監(jiān)控
- 實(shí)時(shí)觀察功率,、氣壓,、氣體流量等參數(shù),，確保設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行,。
- 避免頻繁開閉腔門,，防止氣壓波動(dòng)影響等離子體穩(wěn)定性。
4. 結(jié)束操作
- 清洗完成后,，先關(guān)閉面板藍(lán)色電源鍵,，再切斷總電源。
- 關(guān)閉氣源,，打開排氣閥排出殘留氣體,，避免氣體積聚。
- 待腔內(nèi)冷卻后取出工件,，避免高溫燙傷,。
三、關(guān)鍵參數(shù)設(shè)置規(guī)范
1. 功率控制
- 常規(guī)清洗：50W-150W(如100W為常用值),。
- 敏感材料(如塑料,、有機(jī)膜)：建議≤90W，時(shí)間控制在5分鐘內(nèi),。
- 禁止超限：最大功率勿超150W,，金屬刻蝕需謹(jǐn)慎(可能超出設(shè)備承受范圍)。
2. 氣體流量
- 默認(rèn)流量20sccm,，需匹配真空泵抽速以維持50-100Pa氣壓,。
- 不同氣體切換時(shí)需排空管路殘留氣體。
3. 清洗時(shí)間
- 常規(guī)污染物：200s,；頑固污漬可分多次短時(shí)清洗(如每次3min),。
- 膠類或有機(jī)涂層：可延長(zhǎng)至10分鐘，但需監(jiān)測(cè)材料表面狀態(tài),。
四,、安全操作規(guī)范
1. 個(gè)人防護(hù)
- 必須佩戴防護(hù)眼鏡、手套及防護(hù)服,，避免等離子體直接接觸皮膚或眼睛,。
- 操作時(shí)站立側(cè)位，防止腔門意外開啟造成傷害,。
2. 設(shè)備操作禁忌
- 嚴(yán)禁運(yùn)行時(shí)觸碰電極或內(nèi)部元件(高溫高風(fēng)險(xiǎn)),。
- 禁止隨意拆卸設(shè)備，維修需由專業(yè)人員進(jìn)行,。
- 緊急情況立即按下紅色急停按鈕,。
3. 環(huán)境安全
- 工作區(qū)域遠(yuǎn)離易燃物，設(shè)備需良好接地,。
- 廢氣需通過(guò)通風(fēng)系統(tǒng)排出,，避免局部氣體濃度過(guò)高。
五,、維護(hù)與保養(yǎng)
1. 日常維護(hù)
- 清洗后用無(wú)塵布擦拭腔體內(nèi)壁,，定期檢查電極損耗情況,。
- 氣體管路每月檢查一次，防止堵塞或泄漏,。
2. 周期性保養(yǎng)
- 每季度校準(zhǔn)真空泵油位,，更換老化密封件。
- 每年進(jìn)行一次全面檢修,，重點(diǎn)檢查電氣系統(tǒng)和真空度穩(wěn)定性,。
六、常見異常處理
1. 氣壓異常：檢查真空泵,、管路是否漏氣,，或重新調(diào)節(jié)目流量。
2. 功率波動(dòng)：需重新調(diào)節(jié)TUNE/LOAD旋鈕至匹配狀態(tài),。
3. 清洗效果不佳：可能因功率過(guò)低,、時(shí)間不足或氣體不匹配，需優(yōu)化參數(shù),。
相關(guān)產(chǎn)品
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來(lái)源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品,，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載,、摘編或利用其它方式使用上述作品,。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用,，并注明“來(lái)源：化工儀器網(wǎng)”,。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任,。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來(lái)源（非化工儀器網(wǎng)）的作品,，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)和對(duì)其真實(shí)性負(fù)責(zé),，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任,。其他媒體、網(wǎng)站或個(gè)人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時(shí),，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來(lái)源,，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
- 如涉及作品內(nèi)容,、版權(quán)等問(wèn)題,，請(qǐng)?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利,。
采購(gòu)中心