MIPC1000 多功能等離子清洗儀
- 公司名稱 上海邁科英諾科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 MicroInno
- 型號 MIPC1000
- 產(chǎn)地 上海市云振路臨港復(fù)旦科技園8號樓
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/1/6 16:14:36
- 訪問次數(shù) 487
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 生物產(chǎn)業(yè),石油,能源,電子,綜合 |
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MIPC1000多功能等離子清洗儀,,專門針對SEM/TEM等各類表面/微觀分析設(shè)備開發(fā),能夠有效去除樣品/樣品桿表面污染物,,防止碳沉積帶來圖像分辨率降低及對樣品微區(qū)成分分析造成誤判,,同時可改善樣品表面親水性。該系統(tǒng)配備7英寸超大清洗樣品桿,,同時清洗多個樣品,,利用快旋頭設(shè)計,可滿足SEM/FIB/EPMA/SIMS/XPS/TEM等各類真空腔體清洗,,提升儀器分析準確性,。
MIPC1000多功能等離子清洗儀最多可配備四路氣體進氣系統(tǒng),搭配高精度質(zhì)量流量計(MFC),,可實現(xiàn)任意比例氣體混合,,從而實現(xiàn)不同工藝氣體清洗需求。通過配備的7英寸觸屏控制系統(tǒng),,能夠?qū)崿F(xiàn)清洗配方的建立和存儲,,可實現(xiàn)一鍵完成樣品清洗。 Downstream過濾電場能夠過濾傳統(tǒng)等離子體中離子/電子成分,,僅利用低能自由基進行清洗,,能夠去除濺射損傷、熱效應(yīng)及刻蝕效應(yīng)對樣品微觀結(jié)構(gòu)和成分的破壞,。滿足各類真空設(shè)備樣品/樣品艙清洗,,同時可對電鏡光闌、各類真空部件進行清洗,,滿足各種清洗需求,。
技術(shù)優(yōu)勢
◆ 多功能:具備在線腔體清洗和獨立清洗功能;
◆ 高效性:ICP誘導(dǎo)激發(fā),,清洗范圍廣,;
◆ 超高真空清洗:<5mTor ~ 2Tor ;
◆ 清洗功率范圍大:0-100W ,;
◆ 清洗柔和:Downstream設(shè)計,,無濺射效應(yīng), 無熱效應(yīng),;
◆ 可同時清洗/存儲兩根透射電鏡樣品桿,;
◆ 擴展性好:采用快旋頭,等離子發(fā)生器,,可輕松對各類真空腔體進行清洗,;
◆ 超大清洗樣品艙:直徑7英寸X7英寸高;
◆ 能夠碳膜清洗,,增加增加碳膜親水性,;
◆ 觸屏控制:7英寸觸屏,,配方式操作。
主要應(yīng)用
◆ FIB/SEM/TEM/Nano Probe
◆ XPS/GC/SIMS
◆ Synchrotron Radiation
◆ 各類真空腔體清洗
◆ 各類分析設(shè)備樣品清洗
MCA實機圖
碳膜清洗夾具