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150mm&300mm 全自動(dòng)納米壓印光刻預(yù)處理設(shè)備

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青島天仁微納科技有限責(zé)任公司成立于2015年，是引新的納米壓印設(shè)備和解決方案提供商,。公司的核心競(jìng)爭(zhēng)力是為客戶提供納米壓印整體解決方案,。產(chǎn)品與服務(wù)涵蓋納米壓印相關(guān)的設(shè)備、模具,、材料,、工藝以及生產(chǎn)咨詢(xún)服務(wù)。我們致力于拓展納米壓印技術(shù)在創(chuàng)新產(chǎn)品領(lǐng)域的應(yīng)用,，例如發(fā)光二極管（LEDs）,、微納機(jī)電系統(tǒng)（MEMs/NEMs）、虛擬現(xiàn)實(shí)和增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)光波導(dǎo)（AR Waveguides）,、3D傳感,、生物芯片、顯示以及太陽(yáng)能等,。

微納加工設(shè)備,，配套材料，配套產(chǎn)品,，相關(guān)領(lǐng)域的技術(shù)咨詢(xún)服務(wù)

全自動(dòng)納米壓印光刻基底預(yù)處理,；

Cassette to cassette機(jī)械手自動(dòng)上下片，包含基底清洗,、勻膠,、烘烤和冷卻功能；

毛刷清洗、二流體清洗,、兆聲波清洗,；

旋涂勻膠，包含自動(dòng)供膠系統(tǒng),、EBR,、BSR等功能；

熱板烘烤,、冷板冷卻功能,；

可選配Plasma表面處理功能。



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