全自動離子濺射儀具有簡單易用的交互設(shè)計

來源：北京格微儀器有限公司 2025年05月16日 15:39

　　全自動離子濺射儀簡單易用的交互設(shè)計：

　　1. 模塊化操作界面

　　分步提示：

　　屏幕顯示當(dāng)前步驟（如“正在抽真空”“開始濺射”）,，并實時更新進(jìn)度條,。

　　異常狀態(tài)自動彈窗報警（如真空度不足、靶材耗盡）,，并提供解決方案提示,。

　　參數(shù)互鎖保護(hù)：

　　限制參數(shù)輸入范圍（如電流不超過靶材最大承受值），避免誤操作導(dǎo)致設(shè)備損壞,。

　　2. 免維護(hù)設(shè)計

　　靶材更換便捷：

　　采用卡扣式或磁吸式靶材座,，無需工具即可更換靶材。

　　靶材尺寸標(biāo)準(zhǔn)化,，兼容常用規(guī)格,。

　　清潔維護(hù)簡化：

　　濺射腔室采用耐腐蝕材料，定期用清水或酒精擦拭即可,。

　　可選配自動清潔模式,。

　　3. 安全與合規(guī)性

　　多重防護(hù)機制：

　　門禁保護(hù)：艙門未關(guān)閉時無法啟動濺射，防止紫外線暴露。

　　過流保護(hù)：電流超過設(shè)定值時自動切斷電源,，保護(hù)靶材和樣品,。

　　符合標(biāo)準(zhǔn)：

　　通過CE認(rèn)證，電氣安全性和EMC電磁兼容性符合國際要求,。

　　全自動離子濺射儀使用注意事項：

　　1.靶材與樣品距離：

　　根據(jù)濺射速率需求調(diào)整靶材與樣品臺的距離,，距離越近鍍膜速率越高。

　　2.氣體選擇：

　　惰性氣體用于金屬濺射,，反應(yīng)性氣體可用于氧化物鍍膜,。

　　3.冷卻系統(tǒng)：

　　長時間連續(xù)工作時需檢查散熱系統(tǒng)，避免靶材過熱變形,。

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