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GVC-2000T高真空磁控離子濺射儀

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 北京格微儀器有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào)
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2025/1/2 17:58:51
  • 訪問次數(shù) 1447

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  北京格微儀器有限公司長(zhǎng)期致力于打造以用戶體驗(yàn)為中心的材料表征領(lǐng)域、材料表面改性等儀器設(shè)備研發(fā)制造,,產(chǎn)品包括:磁控離子濺射儀,,高真空磁控離子濺射儀,手套箱鍍電極制備鍍膜儀,,微納器件制備鍍膜儀,,高真空鍍碳儀。公司總部位于北京海淀中關(guān)村,,有多名多年從事真空技術(shù),、電子光學(xué)、離子光學(xué),、表面物理,、材料制備等技術(shù)人員聯(lián)合發(fā)起,團(tuán)隊(duì)全部為碩士以上學(xué)歷或高級(jí)職稱,,具備專業(yè)的表面分析,、結(jié)構(gòu)分析,、原位分析等應(yīng)用經(jīng)驗(yàn),,在科研、產(chǎn)業(yè)等領(lǐng)域,,沉浸多年,,具備獨(dú)立設(shè)計(jì)、項(xiàng)目承擔(dān),、生產(chǎn)制造等綜合能力,。當(dāng)前聚焦于具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)并具備國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力的電子顯微鏡樣品制備設(shè)備,并在眾多高校院所和產(chǎn)業(yè)單位得到青睞,。

離子濺射儀,、熱蒸發(fā)鍍碳儀

產(chǎn)地類別 國(guó)產(chǎn) 價(jià)格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 電子,冶金,綜合

高真空磁控離子濺射儀


GVC-2000T高真空磁控離子濺射儀是一款容易操控的磁控離子濺射儀,為自動(dòng)化技術(shù)鍍膜機(jī)給予市面上最好使用價(jià)值的商品,。它被用于非導(dǎo)電性樣品的預(yù)備處理商品,,以提升三維成像屏幕分辨率,樣品導(dǎo)電率,,電子電荷降低并減少對(duì)比較敏感樣品的光線損害,。
一、描述
1、全自動(dòng)知識(shí)產(chǎn)品,;
2,、沒有熱損傷,效率更高,,顆粒度更細(xì),,更適合高分辨電鏡。
二,、基本原理
將導(dǎo)電性原材料(如Pt-Pd,,Pt,Au和Pd)涂敷到樣品表面上的設(shè)備,。除此之外,,非導(dǎo)電性樣品用以在透射電鏡下開展數(shù)據(jù)可視化,及其維護(hù)樣品表面免遭引入離子束的危害并幫助電子器件流動(dòng)性,。他們乃至可以作為塑料薄膜型電級(jí)的產(chǎn)生,。
三、應(yīng)用領(lǐng)域
1,、高分辨掃描電鏡樣品制備(實(shí)際放大倍數(shù)≥100K),;
2、電極制備-可制備各種金屬電極,、ITO電極,。
四、設(shè)備配置與技術(shù)參數(shù)
型號(hào)&名稱GVC-2000T高真空磁控離子濺射儀
真空系統(tǒng)渦輪分子泵(進(jìn)口 ):德國(guó)萊寶90i (單磁懸浮分子泵,,抽速為90L/s)
旋片式真空泵:浙江飛越VRD-4 (抽速為 1 .1L/s)
真空測(cè)量全量程復(fù)合真空規(guī)(進(jìn)口):1.0E5Pa-1E-4Pa
系統(tǒng)極限真空≤5E-3Pa
濺射電源磁控濺射電源,功率150W
可用靶材所有金屬靶材,,ITO靶材
濺射電壓300-600V,根據(jù)選擇靶材、控制參數(shù)不同而變化
濺射電流0-200mA連續(xù)可調(diào),步長(zhǎng)5mA
濺射時(shí)間0-9999s, 連續(xù)可調(diào)步長(zhǎng)1s
操作界面7英寸TFT彩色液晶觸摸屏,分辨率800×480
操作方式一鍵操作
抽氣節(jié)拍<15分鐘
控制方式只需設(shè)定濺射電流和時(shí)間即可,,全自動(dòng)控制
具備預(yù)濺射擋板(預(yù)濺射時(shí)間可設(shè)定),全自動(dòng)控制
保護(hù)功能軟硬件互鎖,、防止誤操作,具備電流,、真空保護(hù)等
樣品臺(tái)直徑φ125mm,,可自轉(zhuǎn),可自動(dòng)手動(dòng)控制,,轉(zhuǎn)速4-40rpm可調(diào)
真空室高硅硼玻璃,,規(guī)格尺寸約φ200×130mm
電源供電220V 50Hz 功率800W
尺寸&重量重量 424(長(zhǎng)) ×345(深) ×420mm(高)、 25 kg (凈重)
冷卻方式內(nèi)部風(fēng)冷
選配樣品臺(tái)選擇,、膜厚控制,、溫度監(jiān)測(cè)等

鍍膜樣品示例:

    銀.jpg   鎢.jpg   鉻.jpg

            靶材-銀                           靶材-鎢                           靶材-鉻

    鎳.jpg   釩.jpg   錫.jpg

             靶材-鎳                         靶材-釩                           靶材-錫        

    銅.jpg    鉭.jpg   鐵.jpg

            靶材-銅                              靶材-鉭                        靶材-貼

    鈦.jpg     鉛.jpg    鉬.jpg

              靶材-鈦                         靶材-鉛                            靶材-鉬

    鋁.jpg      鉑.jpg    金.jpg

           靶材-鋁                               靶材-鉑                               靶材-金

    鋯.jpg       鉺.jpg    ITO.jpg

             靶材-鋯                               靶材-鉺                        靶材-ITO


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