低溫磁控型

1.顯示操作面為30°斜面,，充分考慮操作的便捷和視覺體驗,，方便觀察操作；

2.真空泵連接管路為金屬波紋管,，美觀耐用,；

3.微調閥調節(jié)靈敏準確，帶有刻度標識,；

4.真空泵抽速快,，噪音低，適合實驗室使用,；

5.控制電路為控制板,，工作穩(wěn)定可靠；

6.顯示控制操作部分布局合理,，使用方便,；

7.結構簡單可靠，布局合理,，維修操作空間大,；

8.自動真空的進排氣，關機自動放棄（標準版手動放氣）

9.優(yōu)化機型外觀,，整潔大方,，體積靈巧；

10.數字方式定時,，0-9999秒區(qū)間自主調節(jié),；

11.采用冷陰極磁控濺射靶頭；

12.升降式上翻蓋結構,，更換樣品方便快捷,；

13.采用定制“凹”密封，更加方便操作,；

14.增大樣品處理室空間,，φ150X110高硬度耐高溫石英晶體；

15.定制型真空泵排氣過濾器,；

16.獨立式升降樣品臺組件（標準為2支柱緊固型）,；

17.石英處理室：Φ150mm,高度110mm;

18. 濺射類型： 冷陰極磁控型二級濺射；

19.樣臺尺寸：150mm,樣品臺插孔61個可選,；可升降和手動旋轉

20.樣品更換：升降式上翻蓋結構，上蓋打開可獨立支撐

21.靶材尺寸：Φ50（可選配定制高效率靶材）;

22.真空系統(tǒng)：型渦旋真空泵2L/S,；

23.真空檢測：定制皮氏計,，配合真空指針表,，靈敏可靠；

24. 真空保護：20Pa配有微量充氣閥調節(jié)工作真空,；

25.真空泄壓：自動進排氣（無需手動放氣閥）,；