飛納臺式電鏡能譜一體機的主要組成部分

來源：復納科學儀器（上海）有限公司 2025年04月17日 14:37

　　飛納臺式電鏡能譜一體機是一種分析儀器,，它將掃描電子顯微鏡(SEM)與能量色散X射線光譜儀(EDS)集成在一起,，能夠在微觀尺度上對材料進行形貌觀察和成分分析。

　　1.掃描電子顯微鏡(SEM)：利用聚焦的電子束掃描樣品表面,，激發(fā)樣品表面產(chǎn)生二次電子,、背散射電子等信號，通過探測器收集這些信號并轉(zhuǎn)換為圖像,，從而獲得樣品表面的形貌信息,。電子束斑越小，分辨率越高,，能夠觀察到更細微的表面細節(jié),。

　　2.能量色散X射線光譜儀(EDS)：當高能電子束或X射線激發(fā)樣品中的元素時，元素會發(fā)射出具有特定能量的X射線,。EDS通過探測這些X射線的能量和波長,，來確定樣品中所含元素的種類和含量。不同元素發(fā)射的X射線具有特定的能量,，因此可以通過測量X射線的能量來識別元素。

　　飛納臺式電鏡能譜一體機的主要組成部分：

　　1.電子光學系統(tǒng)：包括電子槍,、電磁透鏡,、掃描線圈等。電子槍用于產(chǎn)生電子束,，電磁透鏡用于聚焦和控制電子束的直徑,，掃描線圈則使電子束在樣品表面進行光柵狀掃描。

　　2.真空系統(tǒng)：為了確保電子束在傳輸過程中不會受到氣體分子的散射和吸收,，需要維持一定的真空度,。真空系統(tǒng)通常包括機械泵、分子泵等。

　　3.樣品室：用于放置和固定樣品,，通常具有可調(diào)節(jié)的舞臺位置和放大倍數(shù),，以便觀察不同區(qū)域和大小的樣品。

　　4.探測系統(tǒng)：包括二次電子探測器,、背散射電子探測器,、X射線探測器等。這些探測器用于收集從樣品表面發(fā)射的各種信號,，并將其轉(zhuǎn)換為電信號進行處理和分析,。

　　5.控制系統(tǒng)：用于控制儀器的操作參數(shù)，如加速電壓,、電子束電流,、工作距離等。通常配備有計算機控制系統(tǒng),，可以方便地進行參數(shù)設(shè)置,、圖像采集和數(shù)據(jù)處理。

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