日本電子JEOL肖特基場發(fā)射掃描電鏡IT800產(chǎn)品介紹：

一、日本電子JEOL肖特基場發(fā)射掃描電鏡IT800高分辨率成像能力

JSM-IT800采用浸沒式肖特基Plus場發(fā)射電子槍,，結合低像差聚光透鏡和Neo Engine電子光學控制系統(tǒng)，實現(xiàn)了納米級分辨率,。其二次電子圖像分辨率在15kV加速電壓下可達0.5nm,，即使在1kV低電壓下仍保持0.7nm的高分辨率。這一特性使其在觀察納米材料,、半導體器件等微觀結構時具有顯著優(yōu)勢,，例如可清晰顯示小于10nm的催化劑顆粒分布。

二,、靈活模塊化設計

多種物鏡選擇：提供五種物鏡模塊,，包括通用型混合透鏡（HL）、高分辨率超級混合透鏡（SHL/SHLs）以及專為半導體設計的半浸沒式物鏡（i/is）,，滿足從磁性材料到絕緣體的多樣化分析需求,。

可擴展探測器系統(tǒng)：配備新型閃爍體背散射探測器（SBED）和多功能背散射探測器（VBED），SBED在低電壓下仍能捕捉清晰的成分對比圖像,，而VBED支持3D形貌與成分信息的同步獲取,，適用于復雜樣品的多維度分析。

三,、智能化操作與高效分析

集成化控制平臺：通過SEM Center圖形界面無縫整合能量色散X射線譜儀（EDS）,，實現(xiàn)實時成分分析與圖像顯示的無縫切換，提升分析效率,。

AI輔助功能：引入LIVE-AI濾鏡優(yōu)化實時圖像質量,，支持快速聚焦和像散調整；可選軟件如Smile Navi為新手提供操作導航,，降低使用門檻,。

自動化調節(jié)：具備自動合軸、聚焦,、消像散等功能,，結合五軸馬達驅動樣品臺（支持360°旋轉和傾斜），簡化復雜操作流程,。

四,、廣泛適用性與工業(yè)兼容性

JSM-IT800在納米技術、半導體,、材料科學,、生物醫(yī)學等領域表現(xiàn)zhuoyue。例如,，其超級混合透鏡（SHL）可高效分析磁性材料,，無需切換模式；半浸沒式物鏡（i/is）則擅長半導體器件的橫截面故障分析。此外,，設備支持大束流下的高分辨成像（如100nA@5kV）,，結合高速元素面分析和EBSD（電子背散射衍射）功能，滿足工業(yè)質檢的快速檢測需求,。