一、KYKY-EM8200場發(fā)射掃描電鏡 產(chǎn)品介紹

KYKY-EM8200超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡,，采用全新電子光學設計,，基于減速樣品臺、新一代

低像差物鏡,、Inlens探測器等技術,，集成豐富的圖像處理功能，為新能源,、半導體等用戶提供全新解

決方案,。

二、KYKY-EM8200場發(fā)射掃描電鏡 產(chǎn)品特點

1,、高分辨電子光學系統(tǒng)

新一代低像差物鏡

減速樣品臺

低壓高分辨成像

2,、高校便捷的用戶體驗

全新的用戶界面設計

豐富的軟件測量功能

光學導航

著陸束流檢測

3、高性能信號探測系統(tǒng)

低噪聲Inlens探測器

自動推入式背散射探測器

豐富的探測器拓展接口

三,、KYKY-EM8200場發(fā)掃描電鏡 技術參數(shù)

四,、KYKY-EM8200場發(fā)射掃描電鏡 產(chǎn)品功能

· 可任意設置不同探測器的信號混合比例

· 樣品區(qū)全域視場矩陣自動規(guī)劃,，拍照流程無需人工干預

· 百千張級數(shù)據(jù)量快速拼接實時預覽,，構(gòu)建全域清晰掃描大圖

五,、定制能力

1、電子束曝光（EBL）

2,、真空互聯(lián)

·真空互聯(lián)系統(tǒng)可以在真空狀態(tài)下對樣品進行預處理,，并傳遞到掃描電鏡內(nèi)進行觀測。

·自動檢測和反饋系統(tǒng),，對樣品標簽,、位置狀態(tài)、樣品交接進行監(jiān)控和記錄,，可以清晰的了解樣品傳輸狀況,。

3、激光聯(lián)用-超快電鏡

·超快電鏡利用激光,、電場等外界刺激使樣品達到激發(fā)態(tài),。使用時間延遲可調(diào)的另一束激光作用于電鏡燈絲，產(chǎn)生脈沖電子束照射于樣品表面進而收集表面逸出的二次電子對激發(fā)瞬態(tài)進行表征,。

六,、應用示例