一,、產(chǎn)品特點(diǎn)

亞納米級(jí)分辨率

低像差錐形物鏡

大束流

自動(dòng)化控制系統(tǒng)

超大樣品倉(cāng)

鏡筒加速技術(shù)  顯著降低色差 低壓下高質(zhì)量成像

二,、技術(shù)參數(shù)

三,、產(chǎn)品功能

· 樣品區(qū)全域視場(chǎng)矩陣自動(dòng)規(guī)劃,，拍照流程無(wú)需人工干預(yù)

· 百千張級(jí)數(shù)據(jù)量快速拼接實(shí)時(shí)預(yù)覽,，構(gòu)建全域清晰掃描大圖

06 關(guān)鍵尺寸測(cè)量

具備距離,，角度，水平線/垂直線/圓徑測(cè)算等,，豐富的圖像測(cè)量功能

四,、定制能力

1、電子束曝光（EBL）

2,、真空互聯(lián)

·真空互聯(lián)系統(tǒng)可以在真空狀態(tài)下對(duì)樣品進(jìn)行預(yù)處理,，并傳遞到掃描電鏡內(nèi)進(jìn)行觀測(cè)。

·自動(dòng)檢測(cè)和反饋系統(tǒng),，對(duì)樣品標(biāo)簽,、位置狀態(tài)、樣品交接進(jìn)行監(jiān)控和記錄,，可以清晰的了解樣品傳輸狀況,。

3、激光聯(lián)用-超快電鏡

·超快電鏡利用激光,、電場(chǎng)等外界刺激使樣品達(dá)到激發(fā)態(tài),。使用時(shí)間延遲可調(diào)的另一束激光作用于電

鏡燈絲,，產(chǎn)生脈沖電子束照射于樣品表面進(jìn)而收集表面逸出的二次電子對(duì)激發(fā)瞬態(tài)進(jìn)行表征。

五,、應(yīng)用案例