顯微紅外熱點(diǎn)定位測試系統(tǒng)優(yōu)點(diǎn):
1、高靈敏度的鎖相熱成像缺陷定位
2,、配合電測,,XRAY等對樣品作無損分析
3,、選配不同鏡頭,,可分析封裝芯片及裸芯片
4,、對短路及漏電流等分析效果佳
5,、0.03℃溫度分辨率,,20um定位分辨率,,可探測uW級功耗
6、其他功能如真實(shí)溫度測量,,熱的動態(tài)分析,,熱阻計(jì)算
7、相對于其他缺陷查找設(shè)備(EMMI,THERMAL,OBIRCH),,價格可承受
與國外同類設(shè)備相比,,顯微紅外熱點(diǎn)定位測試系統(tǒng)優(yōu)點(diǎn)顯著:
半導(dǎo)體器件作為現(xiàn)代科技社會的一大進(jìn)步,卻因?yàn)楦鞣N原因停滯不前,,其中半導(dǎo)體器件故障問題一直是行業(yè)內(nèi)的熱點(diǎn)問題,,多種多樣的環(huán)境因素,五花八門的故障形式,,使得制造商不知所措,,針對此問題,實(shí)驗(yàn)室聯(lián)合英國GMATG公司推出顯微紅外熱點(diǎn)定位系統(tǒng),,采用法國的ULIS非晶硅紅外探測器,,通過算法、芯片和圖像傳感技術(shù)的改進(jìn),,打造出高精智能化的測試體系,,專為電子產(chǎn)品FA設(shè)計(jì),整合出一套顯微紅外熱點(diǎn)定位測試系統(tǒng),,價格遠(yuǎn)低于國外同類產(chǎn)品,,同樣的功能,但卻有更精確的數(shù)據(jù)整理系統(tǒng),、更方便的操作體系,,正呼應(yīng)了一句名言“好的檢測設(shè)備是一線的測試工程師研發(fā)出來的!”,。
顯微紅外熱點(diǎn)定位測試系統(tǒng)已演化到第四代:配備20um的微距鏡,,可用于觀察芯片微米級別的紅外熱分布;通過強(qiáng)化系統(tǒng)軟件算法處理,,圖像的分辨率高達(dá)5um,,能看清金道與缺陷;熱點(diǎn)鎖定lock in功能,,能夠精準(zhǔn)定位芯片微區(qū)缺陷,;系統(tǒng)內(nèi)置高低溫?cái)?shù)顯精密控溫平臺與循環(huán)水冷裝置校準(zhǔn)各部位發(fā)射率,,以達(dá)到精準(zhǔn)測溫度的目的;具備人工智能觸發(fā)記錄和大數(shù)據(jù)存儲功能,,適合電子行業(yè)相關(guān)的來料檢驗(yàn),、研發(fā)檢測和客訴處理,以達(dá)到企業(yè)節(jié)省20%的研發(fā)和品質(zhì)支出的目的,。
實(shí)驗(yàn)室聯(lián)合英國GMATG公司設(shè)立儀器研發(fā)中心,,自主研發(fā)的主要設(shè)備有顯微光熱分布系統(tǒng)、顯微紅外定位系統(tǒng)和激光開封系統(tǒng),。產(chǎn)品獲得中科院,、暨南大學(xué)、南昌大學(xué),、華南理工大學(xué),、華中科技大學(xué)、士蘭明芯,、清華同方,、華燦光電、三安光電,、三安集成,、天電光電、瑞豐光電等高??蒲性核蜕鲜泄镜膹V泛使用,,廣受老師和科研人員普遍贊譽(yù)。值得信賴,。
紅外顯微鏡系統(tǒng)(Thermal Emission microscopy system),,是半導(dǎo)體失效分析和缺陷定位的常用的三大手段之一(EMMI,THERMAL,OBIRCH),是通過接收故障點(diǎn)產(chǎn)生的熱輻射異常來定位故障點(diǎn)(熱點(diǎn)/Hot Spot)位置。
存在缺陷或性能不佳的半導(dǎo)體器件通常會表現(xiàn)出異常的局部功耗分布,,最終會導(dǎo)致局部溫度增高,。顯微熱分布測試系統(tǒng)利用熱點(diǎn)鎖定技術(shù),可準(zhǔn)確而高效地確定這些關(guān)注區(qū)域的位置,。熱點(diǎn)鎖定是一種動態(tài)紅外熱成像形式,通過改變電壓提升特征分辨率和靈敏度,,軟件數(shù)據(jù)算法改善信噪比,。在IC分析中, 可用來確定線路短路,、 ESD缺陷,、缺陷晶體管和二極管,以及器件閂鎖,。該測試技術(shù)是在自然周圍環(huán)境下執(zhí)行的,,無需遮光箱,。
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