ZDM系列真空鍍膜機(jī)
- 公司名稱 上海喆圖科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 GEMTOP/喆圖
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地 上海市奉賢區(qū)
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/3/5 16:31:03
- 訪問次數(shù) 916
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生化培養(yǎng)箱,恒溫恒濕培養(yǎng)箱,人工氣候培養(yǎng)箱,光照培養(yǎng)箱,霉菌培養(yǎng)箱,鼓風(fēng)干燥箱,真空干燥箱,陶瓷纖維馬弗爐,箱式電阻爐,電熱恒溫水浴鍋
產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè) |
用途概述
ZDM系列真空鍍膜機(jī)HMDS化學(xué)名叫六甲基二硅胺烷(別名六甲基二硅氮烷),真空鍍膜機(jī)又稱HMDS基片預(yù)處理系統(tǒng),,喆圖真空鍍膜機(jī)對(duì)箱體內(nèi)預(yù)處理過程的工作溫度,、工作壓力、處理時(shí)間,、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)的控制,,可以在硅片、襯底表面完成 HMDS成底膜的工藝,。降低了光刻膠的用量,,所有工藝都在密閉的環(huán)境中進(jìn)行,沒有HMDS揮發(fā),,提高了安全性,。主要適用于硅片、砷化鎵,、陶瓷,、不銹鋼、鈮酸鋰,、玻璃,、藍(lán)寶石、晶圓等材料,,為基片在涂膠前改善表面活性,,增加光刻膠與基底的粘附力的設(shè)備,也可用于晶片其它工藝的清洗,,尤其在芯片研發(fā)和生產(chǎn)領(lǐng)域應(yīng)用更加普及,。
產(chǎn)品特點(diǎn)
l ZDM系列真空鍍膜機(jī)采用PLC工控自動(dòng)化系統(tǒng),人機(jī)界面采用觸摸屏,,可靠性高,,操作智能方便;
l PLC控制系統(tǒng)具有自動(dòng)控溫,、任意定時(shí),、超溫報(bào)警等,彩色觸摸屏顯示,控溫準(zhǔn)確可靠;
l 智能化觸摸屏控制系統(tǒng),,可根據(jù)不同制程條件改變程序,、溫度、真空度及每一程序時(shí)間,;
l 采用鋼化玻璃觀察窗,,監(jiān)測(cè)方便,一體成型的硅橡膠門封,,確保箱內(nèi)密封性好,;
l 外殼和加熱管均采用不銹鋼材質(zhì),內(nèi)膽不銹鋼,,無易燃易爆裝置,,無發(fā)塵材料;
l 以蒸汽的形式涂布到晶片表面,,液態(tài)涂布均勻,,可一次處理4盒以上的晶片,節(jié)省藥液,。
l
去水烘烤和增粘(疏水)處理一機(jī)完成無需轉(zhuǎn)移,,有效規(guī)避HMDS泄露的風(fēng)險(xiǎn),;
l HMDS氣體密閉式自動(dòng)吸取添加設(shè)計(jì),使真空箱密封性好,,確保HMDS氣體不外漏,;
l 多余的HMDS蒸汽(尾氣)由真空泵抽出,排放到專用廢氣收集管道,,確保安全以及環(huán)保,。
HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性
將HMDS涂到晶片表面后,經(jīng)真空鍍膜機(jī)加溫后可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物,,
它可將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,起著耦合作用,可更好與光刻膠結(jié)合,,保證涂膠工藝不影
響光刻效果和顯影,。
HMDS本身是表面改性,不會(huì)涂在圓片表面,,HMDS上面涂膠不影響HMDS的處理效果,。
HMDS處理后需要冷卻后涂膠,建議4小時(shí)內(nèi)完成涂膠,。
HMDS真空鍍膜機(jī)預(yù)處理程序
HMDS(六甲基二硅胺)是黃光區(qū)最毒的東西,,真空鍍膜機(jī)預(yù)處理程序?yàn)椋捍蜷_真空泵抽真空,待腔內(nèi)真空度達(dá)到某一高真空度后,,開始充入氮?dú)?,充到一定低真空度后,再次進(jìn)行抽真空,、充入氮?dú)獾倪^程,,到達(dá)設(shè)定的充入氮?dú)獯螖?shù)后,開始保持一段時(shí)間,,使硅片充分受熱,,減少硅片表面的水分。然后再次開始抽真空,,充入通過氮?dú)獾腍MDS氣體,,在到達(dá)設(shè)定時(shí)間后,停止充入HMDS藥液,,進(jìn)入保持階段,,使硅片充分與HMDS反應(yīng)。當(dāng)達(dá)到設(shè)定的保持時(shí)間后,,再次開始抽真空,。
充入氮?dú)猓瓿烧麄€(gè)作業(yè)過程。
技術(shù)參數(shù):
型號(hào) | ZDM-90V | ZDM-125V | ZDM-215V |
電源電壓 | AC 220V 50Hz | ||
控制系統(tǒng) | PLC智能控制 | ||
儀表控制 | 彩色觸摸屏 | ||
控溫范圍 | RT+10-200℃ | ||
溫度分辨率 | 0.1℃ | ||
溫度波動(dòng)度 | ±0.1 | ||
真空度 | ≤133pa | ||
內(nèi)膽尺寸 | 450*450*450 | 500*550*500 | 550*550*650 |
容積 | 90L | 125L | 210L |
載物托架 | 2層 | 3層 | 3層 |