白光干涉儀是什么原理,？干什么用,？

來源：岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司 2022年06月06日 13:44

白光干涉儀是以白光干涉技術(shù)為原理,，能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，非接觸測量樣品表面形貌的光學(xué)測量儀器,，用于表面形貌紋理,，微觀結(jié)構(gòu)分析，用于測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D,，3D表面粗糙度,、輪廓等一百余項參數(shù)，廣泛應(yīng)用于光學(xué),，半導(dǎo)體,，材料，精密機械等等領(lǐng)域,。

工作原理：

白光干涉儀是利用光學(xué)干涉原理研制開發(fā)的超精細表面輪廓測量儀器,。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面,。從兩個表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光,，并由成像系統(tǒng)在CCD相機感光面形成兩個疊加的像。由于兩束光相互干涉,，在CCD相機感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋,。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條文出現(xiàn)的位置解析出被測樣品的相對高度,。

應(yīng)用領(lǐng)域：
白光干涉儀是用來測量三維微觀形貌的,。白光干涉儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學(xué)加工,、微納材料及制造、汽車零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領(lǐng)域中?？蓽y各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度,、平整度,、微觀幾何輪廓、曲率等,，提供依據(jù)ISOIASMEEUR/GBT四大國內(nèi)外標準共計300余種2D,、3D參數(shù)作為評價標準。

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