臺階儀相關知識科普

優(yōu)尼康微課堂：什么是臺階儀,？

臺階儀屬于接觸式表面形貌測量儀器,，也叫探針式表面輪廓儀。臺階儀測量精度較高,、量程大、測量結果穩(wěn)定可靠,、重復性好,被廣泛應用在各行各業(yè),。

測量原理：

當觸針沿被測表面輕輕滑過時，由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時,，還沿峰谷作上下運動,。觸針的運動情況就反映了表面輪廓的情況。

臺階儀性能優(yōu)劣取決于以下三個方面：

測試重復性,、測試速度以及操作難易程度,。這些因素決定了實驗數(shù)據(jù)的質(zhì)量和實驗操作的效率。

在這以我們優(yōu)尼康提供的一款KLA臺階儀為例,，簡單介紹下,，

型號：P-17

支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量,，適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境。

P-17是第八代臺式探針輪廓儀,，是40多年的表面量測經(jīng)驗的結晶,。該系統(tǒng)支持對臺階高度、粗糙度,、翹曲度和應力進行2D和3D測量,，其掃描可達200mm而無需圖像拼接。

該系統(tǒng)結合了UltraLite®傳感器,、恒力控制和超平掃描平臺,，因而具備的測量穩(wěn)定性。 通過式平臺控制,、頂視和側視光學系統(tǒng)以及帶光學變焦的高分辨率相機等功能,，程序設置簡便快速。

P-17具備用于量化表面形貌的各種濾鏡,、調(diào)平和分析算法,，可以支持2D或3D測量。 并通過圖案識別,、排序和特征檢測實現(xiàn)全自動測量,。