P-170 臺階儀

P-170臺階儀是cassette-to-cassette探針式輪廓儀,，可提供幾納米至一毫米的臺階高度測量功能,，適用于生產環(huán)境。該系統(tǒng)可以對臺階高度,、粗糙度,、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達200mm而無需圖像拼接,。 P-170具有的圖案識別算法,、增強的光學系統(tǒng)和的平臺，這了性能的穩(wěn)定和系統(tǒng)間配方的無縫移植- 這是24x7生產環(huán)境的關鍵要求,。

產品描述

P-170是cassette-to-cassette探針式輪廓儀,，將P-17臺式系統(tǒng)的測量性能和經過生產驗證的HRP-260的機械傳送臂相結合。 這樣的組合為機械傳送臂系統(tǒng)提供了極低的擁有成本,，適用于半導體,，化合物半導體和相關行業(yè)。 P-170可以對臺階高度,、粗糙度,、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達200mm而無需圖像拼接,。

該系統(tǒng)結合了UltraLite傳感器,、恒力控制和超平掃描平臺，因而具備的測量穩(wěn)定性,。通過式平臺控制,、頂視和側視光學系統(tǒng)以及帶光學變焦的高分辨率相機等功能，程序設置簡便快速,。P-170具備用于量化表面形貌的各種濾鏡,、調平和分析算法，可以支持2D或3D測量,。并通過圖案識別,、排序和特征檢測實現全自動測量。

主要功能

·       臺階高度：幾納米至1000μm

·       微力恒力控制：0.03至50mg

·       樣品全直徑掃描,，無需圖像拼接

·       視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像機

·       圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差

·       軟件：簡單易用的軟件界面

·       生產能力：通過測序,、圖案識別和SECS/GEM實現全自動化

·       晶圓機械傳送臂：自動加載75mm至200mm不透明（例如硅）和透明（例如藍寶石）樣品

主要應用

·       臺階高度：2D和3D臺階高度

·       紋理：2D和3D粗糙度和波紋度

·       形狀：2D和3D翹曲和形狀

·       應力：2D和3D薄膜應力

·       缺陷復檢：2D和3D缺陷表面形貌

工業(yè)應用

·       半導體

·       化合物半導體

·       LED：發(fā)光二極管

·       MEMS：微機電系統(tǒng)

·       數據存儲

·       汽車

·       還有更多：請與我們聯(lián)系以滿足您的要求